[實用新型]一種用于藍寶石晶片刷洗工藝的搖臂刷洗裝置

有效

• 申請號: 201620859986.2
• 申請日: 2016-08-08
• 公開（公告）號: CN206153185U
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發明（設計）人: 朱亮;曹建偉;孫明;傅林堅;于江忠;吳文泉;董炯杰
• 申請（專利權）人: 浙江晶瑞電子材料有限公司
• 主分類號: B08B1/04
• 分類號: B08B1/04
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司33212
• 代理人: 周世駿

技術領域

本實用新型是關于藍寶石晶片的刷洗工藝領域，特別涉及一種用于藍寶石晶片刷洗工藝的搖臂刷洗裝置。

背景技術

傳統的藍寶石晶片刷洗工藝大多數為人工用板刷刷洗，效率低，工作量特別大，而且傳統的人工刷洗方式會給刷洗效果帶來很多人的不確定因素，刷洗的效果也不盡人意。在晶片量產的情況下傳統的刷洗方式一定不能滿足生產的需求。而且傳統的刷洗方式可能會給晶片帶來損壞崩邊，這樣的刷洗方式一直給相關企業帶來嚴重困擾，所以更換晶片的刷洗方式很有必要。

目前藍寶石行業基本上使用兩個刷輥夾住晶片，刷輥旋轉對晶片進行刷洗，這種刷洗方式有可能會導致晶片磕邊，且效率比較低，刷洗的效果也不盡人意。同時因為目前藍寶石行業晶片的刷洗都用手動進行刷洗，勞動強度特別大。所以在日趨激烈的競爭中，如何提高晶片的刷洗質量、生產效率，特別是尋找一種能代替人工的刷洗方式，一直是各企業的重要目標。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于克服現有技術中的不足，提供一種用毛刷自動刷洗藍寶石晶片的裝置。為解決上述技術問題，本實用新型的解決方案是：

提供一種用于藍寶石晶片刷洗工藝的搖臂刷洗裝置，能利用毛刷對藍寶石晶片進行刷洗，所述用于藍寶石晶片刷洗工藝的搖臂刷洗裝置包括毛刷旋轉驅動電機、毛刷旋轉軸、毛刷軸電機安裝座、毛刷安裝板支撐架、脹緊套、毛刷擺動主軸、導向桿、連接桿、減速機、毛刷擺動伺服電機、毛刷上下驅動氣缸、連接塊、直線軸承、毛刷安裝板、直線軸承安裝板、底部氣缸連接板；

所述毛刷軸電機安裝座、毛刷旋轉軸分別安裝在毛刷安裝板上，且毛刷軸電機安裝座上安裝有毛刷旋轉驅動電機；所述毛刷旋轉軸用于安裝毛刷，毛刷旋轉驅動電機能驅動毛刷旋轉軸旋轉，進而驅動毛刷旋轉并控制晶片刷洗的轉速；

所述毛刷擺動主軸的一端利用脹緊套與毛刷安裝板支撐架連接，通過調節毛刷安裝板支撐架位置能實現毛刷的高低調節；毛刷擺動主軸的另一端與減速機、毛刷擺動伺服電機連接，毛刷擺動伺服電機、減速機用于控制毛刷的擺動速度；

所述導向桿設有四根，每根導向桿上各安裝有直線軸承，直線軸承安裝板分別與直線軸承固定；所述連接塊安裝在底部氣缸連接板上，用于連接毛刷上下驅動氣缸和底部氣缸連接板；所述連接桿設有四根，每根連接桿的一端與底部氣缸連接板相連，另一端與直線軸承安裝板相連，實現利用毛刷上下驅動氣缸帶動毛刷的上下運動(毛刷上下驅動氣缸通過連接塊、連接桿、直線軸承、導向桿，驅動整個毛刷旋轉刷洗組件整體上下運動，來實現毛刷的上下運動；毛刷旋轉刷洗組件包括毛刷旋轉驅動電機、聯軸器、毛刷旋轉軸、毛刷軸電機安裝座、毛刷安裝板支撐架、毛刷安裝板、毛刷)。

作為進一步的改進，所述用于藍寶石晶片刷洗工藝的搖臂刷洗裝置還包括毛刷，毛刷利用螺釘可拆卸安裝在毛刷旋轉軸上。

本實用新型的工作原理：毛刷通過一個伺服電機直連的方式使毛刷以一定的轉速旋轉，通過毛刷上下驅動氣缸的驅動使毛刷刷完晶片后向上運動，然后通過底部毛刷擺動伺服電機和減速機將毛刷旋轉擺動一定的角度，離開晶片，使晶片有一定的空間取下和更換。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型可完全替代傳統的清洗工藝，不需要人工手動刷洗，避免了由人為因素造成晶片刷洗質量一致性差；且由于其刷洗的一致性高，有利于工程師對清洗工藝的分析研發及改進，減輕了操作人員的勞動強度，大幅提高了生產效率，提高了晶片清洗的合格率。

附圖說明

圖1為本實用新型的主視圖。

圖2為本實用新型的左視圖。

圖中的附圖標記為：1毛刷旋轉驅動電機；2毛刷軸電機安裝座；3毛刷旋轉軸；4毛刷；5毛刷安裝板支撐架；6脹緊套；7毛刷擺動主軸；8直線軸承安裝板；9直線軸承；10底部氣缸連接板；11導向桿；12毛刷上下驅動氣缸；13連接塊；14毛刷擺動伺服電機；15減速機；16連接桿。

具體實施方式

下面結合附圖與具體實施方式對本實用新型作進一步詳細描述：

如圖1、圖2所示的一種用于藍寶石晶片新刷洗工藝的搖臂刷洗裝置包括毛刷旋轉驅動電機1、毛刷軸電機安裝座2、毛刷旋轉軸3、毛刷4、毛刷安裝板支撐架5、脹緊套6、毛刷擺動主軸7、直線軸承安裝板8、直線軸承9、底部氣缸安裝板10、導向桿11、毛刷上下驅動氣缸12、連接塊13、毛刷擺動伺服電機14、減速機15、連接桿16。