[實用新型]一種用于藍寶石晶片刷洗工藝的搖臂刷洗裝置

有效

• 申請號: 201620859986.2
• 申請日: 2016-08-08
• 公開（公告）號: CN206153185U
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發明（設計）人: 朱亮;曹建偉;孫明;傅林堅;于江忠;吳文泉;董炯杰
• 申請（專利權）人: 浙江晶瑞電子材料有限公司
• 主分類號: B08B1/04
• 分類號: B08B1/04
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司33212
• 代理人: 周世駿

1.一種用于藍寶石晶片刷洗工藝的搖臂刷洗裝置，能利用毛刷對藍寶石晶片進行刷洗，其特征在于，所述用于藍寶石晶片刷洗工藝的搖臂刷洗裝置包括毛刷旋轉驅動電機、毛刷旋轉軸、毛刷軸電機安裝座、毛刷安裝板支撐架、脹緊套、毛刷擺動主軸、導向桿、連接桿、減速機、毛刷擺動伺服電機、毛刷上下驅動氣缸、連接塊、直線軸承、毛刷安裝板、直線軸承安裝板、底部氣缸連接板；

所述毛刷軸電機安裝座、毛刷旋轉軸分別安裝在毛刷安裝板上，且毛刷軸電機安裝座上安裝有毛刷旋轉驅動電機；所述毛刷旋轉軸用于安裝毛刷，毛刷旋轉驅動電機能驅動毛刷旋轉軸旋轉，進而驅動毛刷旋轉并控制晶片刷洗的轉速；

所述毛刷擺動主軸的一端利用脹緊套與毛刷安裝板支撐架連接，通過調節毛刷安裝板支撐架位置能實現毛刷的高低調節；毛刷擺動主軸的另一端與減速機、毛刷擺動伺服電機連接，毛刷擺動伺服電機、減速機用于控制毛刷的擺動速度；

所述導向桿設有四根，每根導向桿上各安裝有直線軸承，直線軸承安裝板分別與直線軸承固定；所述連接塊安裝在底部氣缸連接板上，用于連接毛刷上下驅動氣缸和底部氣缸連接板；所述連接桿設有四根，每根連接桿的一端與底部氣缸連接板相連，另一端與直線軸承安裝板相連，實現利用毛刷上下驅動氣缸帶動毛刷的上下運動。

2.根據權利要求1所述的一種用于藍寶石晶片刷洗工藝的搖臂刷洗裝置，其特征在于，所述用于藍寶石晶片刷洗工藝的搖臂刷洗裝置還包括毛刷，毛刷利用螺釘可拆卸安裝在毛刷旋轉軸上。