[實用新型]一種雙臺面直寫式曝光機的曝光系統有效
| 申請號： | 201620831924.0 | 申請日： | 2016-08-02 |
| 公開（公告）號： | CN205862101U | 公開（公告）日： | 2017-01-04 |
| 發明（設計）人： | 申請（專利權）人： | ||
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙)32231 | 代理人： | 翁斌 |
| 地址： | 214135 江蘇省無錫市新區太湖國際科*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 臺面 直寫式 曝光 系統 | ||
【說明書】：
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