[實用新型]一種雙臺面直寫式曝光機的曝光系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620831924.0 | 申請日： | 2016-08-02 |
| 公開（公告）號： | CN205862101U | 公開（公告）日： | 2017-01-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 申請（專利權(quán)）人： | ||
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所(普通合伙)32231 | 代理人： | 翁斌 |
| 地址： | 214135 江蘇省無錫市新區(qū)太湖國際科*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 臺面 直寫式 曝光 系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
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