[實用新型]一種可靠性測試結構有效
| 申請號： | 201620831432.1 | 申請日： | 2016-08-02 |
| 公開（公告）號： | CN205900538U | 公開（公告）日： | 2017-01-18 |
| 發明（設計）人： | 趙祥富 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/544 | 分類號： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所31219 | 代理人： | 王華英 |
| 地址： | 100176 北京市大興*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 可靠性 測試 結構 | ||
【說明書】：
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