[實用新型]高溫電子束加熱樣品臺有效
| 申請號: | 201620662888.X | 申請日: | 2016-06-29 |
| 公開(公告)號: | CN206204406U | 公開(公告)日: | 2017-05-31 |
| 發明(設計)人: | 吳凱 | 申請(專利權)人: | 常州東傳新材料科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/30 | 分類號: | C23C14/30;C23C14/50 |
| 代理公司: | 常州市夏成專利事務所(普通合伙)32233 | 代理人: | 陳冰 |
| 地址: | 213000 江蘇省常州*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 高溫 電子束 加熱 樣品 | ||
1.一種高溫電子束加熱樣品臺,包括樣品臺主體(1),其特征是,所述樣品臺主體(1)外圍設有至少兩層伸縮臺圈(2),所述伸縮臺圈(2)內壁設有凹槽圈(3),所述伸縮臺圈(2)外圍設有滑軌(4),滑軌(4)上設有擋圈(5)。
2.根據權利要求1所述的高溫電子束加熱樣品臺,其特征是,所述凹槽圈(3)設在伸縮臺圈(2)頂端內側。
3.根據權利要求1所述的高溫電子束加熱樣品臺,其特征是,所述凹槽圈(3)和擋圈(5)契合。
4.根據權利要求1所述的高溫電子束加熱樣品臺,其特征是,所述伸縮臺圈(2)有三層。
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