[實(shí)用新型]高溫電子束加熱樣品臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201620662888.X
• 申請日: 2016-06-29
• 公開（公告）號: CN206204406U
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳凱
• 申請（專利權(quán)）人: 常州東傳新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;C23C14/50
• 代理公司: 常州市夏成專利事務(wù)所(普通合伙)32233
• 代理人: 陳冰

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及真空蒸鍍設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種高溫電子束加熱樣品臺。

背景技術(shù)

電子束蒸發(fā)是真空蒸鍍的一種方式，它是在鎢絲蒸發(fā)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，電子束是一種高速的電子流，電子束蒸發(fā)是目前真空鍍膜技術(shù)中一種成熟且主要的鍍膜方法，它解決了電阻加熱方式中膜料與蒸鍍源材料直接接觸容易互混的問題。現(xiàn)有用于電子束蒸發(fā)加熱的樣品臺結(jié)構(gòu)簡單，功能單一，只是起到架起待加工樣品的作用，不能隨意調(diào)節(jié)臺面范圍，也沒有配套的防護(hù)裝置保護(hù)待加工樣品不從臺面掉落，一定程度上影響了樣品臺工作效率。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有的上述的不足，本實(shí)用新型提供了一種高溫電子束加熱樣品臺。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種高溫電子束加熱樣品臺，包括樣品臺主體，樣品臺主體外圍設(shè)有至少兩層伸縮臺圈，伸縮臺圈內(nèi)壁設(shè)有凹槽圈，伸縮臺圈外圍設(shè)有滑軌，滑軌上設(shè)有擋圈。

根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例，進(jìn)一步包括凹槽圈設(shè)在伸縮臺圈頂端內(nèi)側(cè)。

根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例，進(jìn)一步包括凹槽圈和擋圈契合。

根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例，進(jìn)一步包括伸縮臺圈有三層。

本實(shí)用新型的有益效果是，結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，工作穩(wěn)定可靠，三層伸縮臺圈能根據(jù)使用需求輕松調(diào)節(jié)，擋圈能有效防止樣品掉落，有效提高設(shè)備工作效率。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。

圖1是本實(shí)用新型的主視圖。

圖2是本實(shí)用新型的俯視圖。

圖中1.樣品臺主體，2.伸縮臺圈，3.凹槽圈，4.滑軌，5.擋圈。

具體實(shí)施方式

如圖1、2所示，一種高溫電子束加熱樣品臺，包括樣品臺主體1，樣品臺主體1外圍設(shè)有至少兩層伸縮臺圈2，伸縮臺圈2內(nèi)壁設(shè)有凹槽圈3，伸縮臺圈2外圍設(shè)有滑軌4，滑軌4上設(shè)有擋圈5，凹槽圈3設(shè)在伸縮臺圈2頂端內(nèi)側(cè)，凹槽圈3和擋圈5契合，伸縮臺圈2有三層。

使用時(shí)，樣品臺主體1外圍的三層伸縮臺圈2均能上下伸縮運(yùn)動(dòng)，從而增減樣品臺的載物面積，擋圈5在伸縮臺圈2外圍的滑軌4內(nèi)上下滑動(dòng)改變位置，當(dāng)?shù)诙由炜s臺圈2上升至和樣品臺主體1等高，伸縮臺圈2外側(cè)的擋圈5沿滑軌4上升，使之高出樣品臺面，起到很好的擋料作用，以此類推，三層伸縮臺圈2能三次增大載物面積。

改進(jìn)后的高溫電子束加熱樣品臺結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，工作穩(wěn)定可靠，三層伸縮臺圈能根據(jù)使用需求輕松調(diào)節(jié)，擋圈能有效防止樣品掉落，有效提高設(shè)備工作效率。

以上說明對本實(shí)用新型而言只是說明性的，而非限制性的，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解，在不脫離所附權(quán)利要求所限定的精神和范圍的情況下，可做出許多修改、變化或等效，但都將落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。