[實用新型]一種清洗三氯氫硅合成爐HCl分布盤的裝置有效
| 申請號： | 201620574021.9 | 申請日： | 2016-06-15 |
| 公開（公告）號： | CN205684409U | 公開（公告）日： | 2016-11-16 |
| 發明（設計）人： | 朱克虎;劉軍;盛長海;王振榮;李英;彭冬壽;尹東林;王體虎 | 申請（專利權）人： | 亞洲硅業（青海）有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/10 | 分類號： | B08B3/10;B08B3/04 |
| 代理公司： | 蘭州中科華西專利代理有限公司 62002 | 代理人： | 李艷華 |
| 地址： | 810007 青海*** | 國省代碼： | 青海;63 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 洗三 氯氫硅 合成 hcl 分布 裝置 | ||
【權利要求書】：
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