[實(shí)用新型]一種清洗三氯氫硅合成爐HCl分布盤的裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201620574021.9 | 申請(qǐng)日： | 2016-06-15 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN205684409U | 公開（公告）日： | 2016-11-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 朱克虎;劉軍;盛長海;王振榮;李英;彭冬壽;尹東林;王體虎 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 亞洲硅業(yè)（青海）有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B08B3/10 | 分類號(hào)： | B08B3/10;B08B3/04 |
| 代理公司： | 蘭州中科華西專利代理有限公司 62002 | 代理人： | 李艷華 |
| 地址： | 810007 青海*** | 國省代碼： | 青海;63 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 洗三 氯氫硅 合成 hcl 分布 裝置 | ||
【說明書】：
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