[實用新型]一種監控晶圓有效
| 申請號： | 201620554494.2 | 申請日： | 2016-06-02 |
| 公開（公告）號： | CN205984978U | 公開（公告）日： | 2017-02-22 |
| 發明（設計）人： | 王智東;傅俊 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/544 | 分類號： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李時云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 監控 | ||
【說明書】：
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