[實(shí)用新型]一種監(jiān)控晶圓有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620554494.2 | 申請日： | 2016-06-02 |
| 公開（公告）號： | CN205984978U | 公開（公告）日： | 2017-02-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王智東;傅俊 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/544 | 分類號： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李時(shí)云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 國省代碼： | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 監(jiān)控 | ||
【權(quán)利要求書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司，未經(jīng)中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201620554494.2/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 多級校內(nèi)監(jiān)控系統(tǒng)
- 多級校內(nèi)監(jiān)控系統(tǒng)
- 一種范圍廣、力度大的校內(nèi)監(jiān)控系統(tǒng)
- 一種監(jiān)控的方法及系統(tǒng)
- 設(shè)備的監(jiān)控方法、裝置、系統(tǒng)和空調(diào)
- 多級校內(nèi)監(jiān)控系統(tǒng)
- 設(shè)備監(jiān)控方法、裝置、計(jì)算機(jī)設(shè)備及存儲介質(zhì)
- 風(fēng)險(xiǎn)雷達(dá)預(yù)警的監(jiān)控方法及系統(tǒng)
- 區(qū)塊鏈網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控系統(tǒng)、裝置及方法
- 基于機(jī)器視覺的車站客流安全智能監(jiān)控系統(tǒng)
