[實用新型]直寫式曝光機光源系統有效
| 申請號： | 201620549859.2 | 申請日： | 2016-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN206270651U | 公開（公告）日： | 2017-06-20 |
| 發明（設計）人： | 楊文 | 申請（專利權）人： | 江蘇影速光電技術有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 徐州市三聯專利事務所32220 | 代理人： | 周愛芳 |
| 地址： | 221600 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 直寫式 曝光 光源 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種直寫式曝光機光源系統，其特征在于，包括：
光源光路（27）、傳導光纖以及分光光路（28）；
所述的光源光路（27）采用UVLED（1）作為光源、UVLED（1）發出的光束通過傳導光纖接入分光光路（28）進行分光，分光后的光路利用光纖接入各個曝光光路。
2.根據權利要求1所述的一種直寫式曝光機光源系統，其特征在于，所述的光源光路包括UVLED（1）、微透鏡陣列（2）、光路組件（3）、光纖準直器一（4），光纖Ⅰ（5）；
所述UVLED（1）發射光束經微透鏡陣列（2）、光路組件（3）進行整形后利用光纖準直器一（4）進行準直光束、光束通過光纖Ⅰ（5）接入分光光路。
3.根據權利要求1所述的一種直寫式曝光機光源系統，其特征在于，所述的分光光路包括光纖準直器二（6）、玻片一（7）、分光鏡一（8）以及由分光鏡和反射鏡組成的分光單元；
來自光源光路的光束經過光纖準直器二（6）、玻片一（7）后照射到分光鏡一（8）后，一束光束穿過分光鏡一（8）照射到下一個分光單元、另一束經過分光鏡一（8）反射到下一個分光單元，其中，每個分光單元均可繼續分光或直接接入曝光光路。
4.根據權利要求2所述的一種直寫式曝光機光源系統，其特征在于，所述的UVLED（1）為多顆陣列式UVLED。
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