[實(shí)用新型]直寫式曝光機(jī)光源系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201620549859.2
• 申請日: 2016-06-08
• 公開（公告）號: CN206270651U
• 公開（公告）日: 2017-06-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊文
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇影速光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 徐州市三聯(lián)專利事務(wù)所32220
• 代理人: 周愛芳

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種直寫式曝光機(jī)光源系統(tǒng)，屬于直寫式光刻機(jī)快速掃描曝光技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

直寫式光刻技術(shù)是近年來發(fā)展較快的、以替代傳統(tǒng)的掩膜板式光刻技術(shù)的影像直接轉(zhuǎn)移技術(shù)，在半導(dǎo)體及PCB生產(chǎn)領(lǐng)域中有著越來越重要的地位；利用該技術(shù)可以縮短工藝流程，并降低生產(chǎn)成本。

隨著數(shù)碼產(chǎn)品的飛速發(fā)展，電子市場的對PCB板的要求更加的嚴(yán)苛，即更高的密度、更小的尺寸。

相比于常規(guī)LDI中的光源，采用多個激光器分別控制，不僅結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，成本也比較昂貴。并且由于激光器之間無法避免的差異，導(dǎo)致不同功率時，出射能量存在不同的差異，從而導(dǎo)致不同曝光區(qū)域的線寬存在差異，嚴(yán)重影響產(chǎn)品質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實(shí)用新型提供一種直寫式曝光機(jī)光源系統(tǒng)，其能為各個光路提供高能量，高一致性的光源，進(jìn)而保證產(chǎn)品質(zhì)量。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種直寫式曝光機(jī)光源系統(tǒng)，包括：

光源光路、傳導(dǎo)光纖以及分光光路；

所述的光源光路采用UVLED作為光源、UVLED發(fā)出的光束通過傳導(dǎo)光纖接入分光光路進(jìn)行分光，分光后的光路利用光纖接入各個曝光光路。

所述的光源光路包括UVLED、微透鏡陣列、光路組件、光纖準(zhǔn)直器一，光纖Ⅰ；

所述UVLED發(fā)射光束經(jīng)微透鏡陣列、光路組件進(jìn)行整形后利用光纖準(zhǔn)直器一進(jìn)行準(zhǔn)直光束、光束通過光纖Ⅰ接入分光光路。

所述的分光光路包括光纖準(zhǔn)直器二、玻片一、分光鏡一以及由分光鏡和反射鏡組成的分光單元；

來自光源光路的光束經(jīng)過光纖準(zhǔn)直器二、玻片一后照射到分光鏡一后，一束光束穿過分光鏡一照射到下一個分光單元、另一束經(jīng)過分光鏡一反射到下一個分光單元，其中，每個分光單元均可繼續(xù)分光或直接接入曝光光路。

所述的UVLED為多顆陣列式UVLED。

與現(xiàn)有的多個激光器方式相比，本實(shí)用新型采用UVLED提供高穩(wěn)定，高壽命，高能量的光源，利用光學(xué)鏡片將光耦合到光纖中進(jìn)行傳輸，光纖末端接入到一分四分光光路中，進(jìn)行分光，通過分光系統(tǒng)中的玻片，可以實(shí)現(xiàn)四組光路出射能量的高度一致性，然后再通過光纖將四組出射光分別連接到曝光光路中。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的光源光路示意圖；

圖3為本實(shí)用新型的分光光路示意圖。

圖中：1、多顆UVLED， 2、微透鏡陣列 ，3、光路組件，4、光纖準(zhǔn)直器一，5、光纖I，6、光纖準(zhǔn)直器二，7、玻片一，8、分光鏡一，9、玻片二 ，10、分光鏡二，11、反射鏡一，12、玻片三，13、反射鏡二，14、分光鏡三，15、光纖準(zhǔn)直器三，16、光纖II，17、光纖準(zhǔn)直器四，18、光纖III，19、光纖準(zhǔn)直器五，20、光纖IV，21、光纖V，22、光纖準(zhǔn)直器六，23、曝光光路一，24、曝光光路二，25、曝光光路三，26、曝光光路四，27、光源光路，28、分光光路。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。

如圖1和圖2：本實(shí)用新型為一種直寫式曝光機(jī)光源系統(tǒng)，包括：

光源光路27、傳導(dǎo)光纖以及分光光路28；

所述的光源光路27采用UVLED1作為光源、UVLED1發(fā)出的光束通過傳導(dǎo)光纖I5接入分光光路28進(jìn)行分光，分光后的光路利用光纖接入各個曝光光路。

如圖2所示，為本實(shí)用新型一分四分光路實(shí)施例，當(dāng)然本實(shí)用新型不止一分四路，同時可根據(jù)實(shí)際情況一分N路：所述的光源光路27包括UVLED1、微透鏡陣列2、光路組件3、光纖準(zhǔn)直器一4，光纖Ⅰ5；

所述UVLED1發(fā)射光束經(jīng)微透鏡陣列2、光路組件3進(jìn)行整形后利用光纖準(zhǔn)直器一4進(jìn)行準(zhǔn)直光束、光束通過光纖Ⅰ5接入分光光路28。

如圖3：所述的分光光路包括光纖準(zhǔn)直器二6、玻片一7、分光鏡一8以及由分光鏡和反射鏡組成的分光單元；

來自光源光路的光束經(jīng)過光纖準(zhǔn)直器二6、玻片一7后照射到分光鏡一8后，一束光束穿過分光鏡一8照射到下一個分光單元：即經(jīng)玻片二9、分光鏡二10、反射鏡一11，來自分光鏡二10的光束通過光纖準(zhǔn)直器四17、光纖III18接入曝光光路23、來自反射鏡一11的光束通過光纖準(zhǔn)直器三15、光纖II16接入曝光光路一23；