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[實(shí)用新型]微小空間的二次靶靶材精密切換裝置有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201620498222.5 申請(qǐng)日: 2016-05-26
公開(公告)號(hào): CN205656151U 公開(公告)日: 2016-10-19
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 劉小東;江紅;陳光華 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 深圳市華唯計(jì)量技術(shù)開發(fā)有限公司
主分類號(hào): G01N23/223 分類號(hào): G01N23/223
代理公司: 北京高沃律師事務(wù)所 11569 代理人: 李娜
地址: 518000 廣東省深圳市南山區(qū)*** 國(guó)省代碼: 廣東;44
權(quán)利要求書: 查看更多 說(shuō)明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 微小 空間 二次 靶靶材 精密 切換 裝置
【說(shuō)明書】:
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