[實用新型]微小空間的二次靶靶材精密切換裝置有效
| 申請號： | 201620498222.5 | 申請日： | 2016-05-26 |
| 公開（公告）號： | CN205656151U | 公開（公告）日： | 2016-10-19 |
| 發明（設計）人： | 劉小東;江紅;陳光華 | 申請（專利權）人： | 深圳市華唯計量技術開發有限公司 |
| 主分類號： | G01N23/223 | 分類號： | G01N23/223 |
| 代理公司： | 北京高沃律師事務所 11569 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市南山區*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微小 空間 二次 靶靶材 精密 切換 裝置 | ||
【權利要求書】：
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