[實用新型]一種單晶硅爐用分段檢測漏氣裝置有效
申請號: | 201620462832.X | 申請日: | 2016-05-20 |
公開(公告)號: | CN205748803U | 公開(公告)日: | 2016-11-30 |
發明(設計)人: | 王崢;王曉飛;彭套;趙文龍;劉要普 | 申請(專利權)人: | 麥斯克電子材料有限公司 |
主分類號: | G01M3/02 | 分類號: | G01M3/02 |
代理公司: | 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 狄干強 |
地址: | 471000 河南省洛陽*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索關鍵詞: | 一種 單晶硅 分段 檢測 漏氣 裝置 | ||
【說明書】:
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