[實用新型]一種單晶硅爐用分段檢測漏氣裝置有效
| 申請號： | 201620462832.X | 申請日： | 2016-05-20 |
| 公開（公告）號： | CN205748803U | 公開（公告）日： | 2016-11-30 |
| 發明（設計）人： | 王崢;王曉飛;彭套;趙文龍;劉要普 | 申請（專利權）人： | 麥斯克電子材料有限公司 |
| 主分類號： | G01M3/02 | 分類號： | G01M3/02 |
| 代理公司： | 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 狄干強 |
| 地址： | 471000 河南省洛陽*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 單晶硅 分段 檢測 漏氣 裝置 | ||
【權利要求書】：
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