[實用新型]光刻機上版架有效
| 申請號： | 201620426620.6 | 申請日： | 2016-05-12 |
| 公開（公告）號： | CN205620672U | 公開（公告）日： | 2016-10-05 |
| 發明（設計）人： | 杜武兵;林偉;孫多衛 | 申請（專利權）人： | 深圳市路維光電股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市翼智博知識產權事務所(普通合伙) 44320 | 代理人： | 肖偉 |
| 地址： | 518057 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 機上版架 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于深圳市路維光電股份有限公司，未經深圳市路維光電股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201620426620.6/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種帶通訊功能的電子設備
- 下一篇：具有光纖傳輸系統的內視鏡
