[實用新型]光刻機上版架有效
| 申請號： | 201620426620.6 | 申請日： | 2016-05-12 |
| 公開（公告）號： | CN205620672U | 公開（公告）日： | 2016-10-05 |
| 發明（設計）人： | 杜武兵;林偉;孫多衛 | 申請（專利權）人： | 深圳市路維光電股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市翼智博知識產權事務所(普通合伙) 44320 | 代理人： | 肖偉 |
| 地址： | 518057 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 機上版架 | ||
【權利要求書】：
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