[實(shí)用新型]基板分析裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620401872.3 | 申請日: | 2016-05-05 |
| 公開(公告)號: | CN205786470U | 公開(公告)日: | 2016-12-07 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 川端克彥;一之瀨達(dá)也;李晟在 | 申請(專利權(quán))人: | 埃耶士株式會社 |
| 主分類號: | G01N27/62 | 分類號: | G01N27/62;G01N35/10;G01N35/00;G01N33/00 |
| 代理公司: | 隆天知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司72003 | 代理人: | 張福根;馮志云 |
| 地址: | 暫無信息 | 國省代碼: | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 分析 裝置 | ||
【說明書】:
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