[實用新型]基板分析裝置有效
| 申請號： | 201620401872.3 | 申請日： | 2016-05-05 |
| 公開（公告）號： | CN205786470U | 公開（公告）日： | 2016-12-07 |
| 發明（設計）人： | 川端克彥;一之瀨達也;李晟在 | 申請（專利權）人： | 埃耶士株式會社 |
| 主分類號： | G01N27/62 | 分類號： | G01N27/62;G01N35/10;G01N35/00;G01N33/00 |
| 代理公司： | 隆天知識產權代理有限公司72003 | 代理人： | 張福根;馮志云 |
| 地址： | 暫無信息 | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 分析 裝置 | ||
【權利要求書】：
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