[實用新型]一種靜電放電監(jiān)測結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620387602.1 | 申請日： | 2016-04-29 |
| 公開（公告）號： | CN205582932U | 公開（公告）日： | 2016-09-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王志娟;宋永梁;楊莉娟 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/528 | 分類號： | H01L23/528;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所 31219 | 代理人： | 唐棉棉 |
| 地址： | 100176 北京市大興*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 靜電 放電 監(jiān)測 結(jié)構(gòu) | ||
【說明書】：
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