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[實用新型]一種靜電放電監測結構有效

專利信息
申請號: 201620387602.1 申請日: 2016-04-29
公開(公告)號: CN205582932U 公開(公告)日: 2016-09-14
發明(設計)人: 王志娟;宋永梁;楊莉娟 申請(專利權)人: 中芯國際集成電路制造(北京)有限公司;中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
主分類號: H01L23/528 分類號: H01L23/528;H01L21/66
代理公司: 上海光華專利事務所 31219 代理人: 唐棉棉
地址: 100176 北京市大興*** 國省代碼: 北京;11
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 靜電 放電 監測 結構
【權利要求書】:
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