[實用新型]陰極體磁場旋轉機構

有效

• 申請號: 201620383886.7
• 申請日: 2016-05-03
• 公開（公告）號: CN206359606U
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發明（設計）人: 白春陽;任睦琳;李宏艷
• 申請（專利權）人: 大連金泰表面工程科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明屬于真空設備的部件，特別涉及一種陰極體上使用的永久磁鐵旋轉結構。

背景技術

目前陰極體的永久磁鐵固定方式有很多種，即都為靜止的固定方式。永久磁鐵靜止固定方式的工作特點，當陰極體的靶材引著弧工作時,約束弧斑按固定的軌跡運動,靶材最終會燒成碗狀,這樣導致材料利用率非常低,增加成本,浪費資源。

發明內容

本發明的目的在于克服上述技術不足，一種可以提高靶材的利用率，降低成本，節省資源。

本發明解決技術問題所采用的技術方案是：一種陰極體上使用的永久磁鐵旋轉結構，包括電機，電機支架，小齒輪，大齒輪，磁鐵背鐵，壓帽，滑套，水管，在水管上用滑套把大齒輪支撐起來，再用壓帽把滑套固定，大齒輪橫向有0.3mm移動間隙，小齒輪固定在電機軸上，電機固定電機支架上，電機支架固定在陰極體座，電機通電，大齒輪旋轉，大齒輪帶動磁鐵旋轉。

本發明的有益效果是：該發明結構簡單，提高靶材的利用率，節約環境資源。

附圖說明

以下結合附圖以實施例具體說明。

圖1是高真空擋板閥的主視圖；

圖2是圖1的剖視圖。

圖中：1-引弧氣缸；2-大齒輪；3-磁鐵背鐵；4-水管；5-壓帽；6-電機；7-電機支架；8-小齒輪；9-陰極體座；10-滑套；11-靶材；12-引弧針；13-M5L十字盤頭螺釘；14-引弧針固定座；15-M6L外六角螺釘；16-M5L外六角螺釘；

具體實施方式

具體實施例，參上附圖，一種陰極體上的旋轉磁場，包括電機6、電機支架7，小齒輪8和大齒輪2，磁鐵背鐵3，壓帽5，滑套10，水管4，陰極體座9，靶材11，引弧針12，M5L十字螺釘13，引弧針座14，引弧氣缸1， M5L外六角螺釘16。其特征在于，在陰極體座9的后平面焊接水管4，前面固定靶材11，引弧氣缸1通過外六角螺釘15固定在陰極體座9上，引弧針座固定在引弧氣缸1，引弧針12通過十字盤頭螺釘13固定在引弧針座14上，大齒輪2通過滑套10支撐，滑套10被雙壓帽5固定在合適的位置，磁鐵背鐵3通過磁鐵固定，電機6固定在電機支架7，小齒輪8固定在電機，電機支架7通過M6L外六角螺釘15固定在陰極體座。電機6通電，大齒輪8旋轉，大齒輪8帶動磁鐵旋轉。

該實用新型很大程度上節省資源，降低成本。