[實用新型]陰極體磁場旋轉機構有效
| 申請號: | 201620383886.7 | 申請日: | 2016-05-03 |
| 公開(公告)號: | CN206359606U | 公開(公告)日: | 2017-07-28 |
| 發明(設計)人: | 白春陽;任睦琳;李宏艷 | 申請(專利權)人: | 大連金泰表面工程科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/35 | 分類號: | C23C14/35 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 116600 遼寧省*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 陰極 磁場 旋轉 機構 | ||
1.一種陰極體上的旋轉磁場,包括電機6、電機支架7,小齒輪8和大齒輪2,磁鐵背鐵3,壓帽5,滑套10,水管4,陰極體座9,靶材11,引弧針12,M5L十字螺釘13,引弧針座14,引弧氣缸1, M5L外六角螺釘16;其特征在于,在陰極體座9的后平面焊接水管4,前面固定靶材11,引弧氣缸1通過外六角螺釘15固定在陰極體座9上,引弧針座固定在引弧氣缸1,引弧針12通過十字盤頭螺釘13固定在引弧針座14上,大齒輪2通過滑套10支撐,滑套10被雙壓帽5固定在合適的位置,磁鐵背鐵3通過磁鐵固定,電機6固定在電機支架7,小齒輪8固定在電機,電機支架7通過M6L外六角螺釘15固定在陰極體座。
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