[實用新型]濕式蝕刻裝置有效
| 申請號： | 201620324302.9 | 申請日： | 2016-04-18 |
| 公開（公告）號： | CN205726686U | 公開（公告）日： | 2016-11-23 |
| 發明（設計）人： | 黃榮龍;呂峻杰;陳瀅如 | 申請（專利權）人： | 盟立自動化股份有限公司 |
| 主分類號： | H05K3/00 | 分類號： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中國臺灣新竹*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 蝕刻 裝置 | ||
【說明書】：
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