[實(shí)用新型]濕式蝕刻裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201620324302.9 | 申請(qǐng)日： | 2016-04-18 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN205726686U | 公開（公告）日： | 2016-11-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 黃榮龍;呂峻杰;陳瀅如 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 盟立自動(dòng)化股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H05K3/00 | 分類號(hào)： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 上海翼勝專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中國(guó)臺(tái)灣新竹*** | 國(guó)省代碼： | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 蝕刻 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于盟立自動(dòng)化股份有限公司，未經(jīng)盟立自動(dòng)化股份有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201620324302.9/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
