[實用新型]用于斜面聚合物減少的邊緣環有效
| 申請號： | 201620320137.X | 申請日： | 2016-04-15 |
| 公開（公告）號： | CN205984889U | 公開（公告）日： | 2017-02-22 |
| 發明（設計）人： | R·米什拉;G·J·斯科特;K·M·西拉朱迪茵;S·L·圖西巴格威爾;S·西盧納烏卡拉蘇 | 申請（專利權）人： | 應用材料公司 |
| 主分類號： | H01J37/02 | 分類號： | H01J37/02 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司31100 | 代理人： | 黃嵩泉 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 斜面 聚合物 減少 邊緣 | ||
【說明書】：
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