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[實用新型]用于斜面聚合物減少的邊緣環有效

專利信息
申請號: 201620320137.X 申請日: 2016-04-15
公開(公告)號: CN205984889U 公開(公告)日: 2017-02-22
發明(設計)人: R·米什拉;G·J·斯科特;K·M·西拉朱迪茵;S·L·圖西巴格威爾;S·西盧納烏卡拉蘇 申請(專利權)人: 應用材料公司
主分類號: H01J37/02 分類號: H01J37/02
代理公司: 上海專利商標事務所有限公司31100 代理人: 黃嵩泉
地址: 美國加利*** 國省代碼: 暫無信息
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摘要:
搜索關鍵詞: 用于 斜面 聚合物 減少 邊緣
【權利要求書】:
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