[實用新型]用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩

有效

• 申請號: 201620228111.2
• 申請日: 2016-03-23
• 公開（公告）號: CN205387591U
• 公開（公告）日: 2016-07-20
• 發明（設計）人: 喬唐
• 申請（專利權）人: 蘇州新材料研究所有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30
• 代理公司: 蘇州睿昊知識產權代理事務所(普通合伙) 32277
• 代理人: 伍見

1.用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩，其特征在于，其包括：

外罩支撐體，所述外罩支撐體與坩堝接觸且受所述坩堝的頂端邊緣支撐， 所述外罩支撐體為圓環形結構；

導流環，所述導流環設置在所述外罩支撐體的內圓上，所述導流環頂部 端面為斜面，在所述斜面上設有若干導流氣孔，所述坩堝內部的蒸汽通過所 述導流氣孔；

導流腔，所述導流腔為漏斗形結構，所述導流腔的上部邊緣連接至所述 導流環的下部邊緣，融化狀態的蒸鍍材料流入所述導流腔；

導流通道，所述導流通道為圓柱體，所述導流通道的上端連接至所述導 流腔的底部，所述導流通道深入至所述坩堝中，所述導流通道頂部端面設有 第一圓孔，所述第一圓孔與所述導流腔貫通，所述導流通道的側壁上設有五 個斜方向圓孔，融化的蒸鍍材料液滴由所述第一圓孔滴入，順著所述斜方向 圓孔滴入至所述坩堝中，最終滴落至所述坩堝底部。

2.根據權利要求1所述的用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩，其特征 在于，所述導流通道的底部端面為平面。

3.根據權利要求2所述的用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩，其特征 在于，所述導流通道底部端面阻擋來自所述坩堝底部飛濺的液滴。

4.根據權利要求1所述的用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩，其特征 在于，所述導流腔的外部漏斗面阻擋來自所述坩堝底部飛濺的液滴。

5.根據權利要求1所述的用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩，其特征 在于，所述導流氣孔等間距的設置在所述導流環上。

6.根據權利要求1所述的用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩，其特征 在于，所述外罩支撐體、導流環、導流腔一體成型。