[實用新型]氣動懸浮式微球涂層裝置

有效

• 申請號: 201620128052.1
• 申請日: 2016-02-18
• 公開（公告）號: CN205329151U
• 公開（公告）日: 2016-06-22
• 發明（設計）人: 羅炳池;吳衛東;李文琦;李愷;羅江山;張建波;張吉強;何玉丹;戴亞平
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/50
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 吳開磊

技術領域

本實用新型涉及微層表面涂層材料的制備技術領域，且特別涉 及一種氣動懸浮式微球涂層裝置。

背景技術

在科研和生產活動中，需要制備微球表面的各種均勻涂層，比 如慣性約束聚變(ICF)物理實驗中，需要在空心或實心微球表面制 備各種金屬和非金屬的均勻涂層材料，以實現科學研究的目的。

現有的微層涂層裝置在進行微層涂層時，均勻性較差，而且不 能防止微球相互碰撞。另外，在涂層過程中，從靶槍上掉落的渣、 屑等會粘附在微球表面，形成異質晶核生長或被后續沉積的原子覆 蓋在表面，這樣微球表面的光潔度變差，尤其是在低工作氣壓下對 各種材質金屬、陶瓷、塑料等微球進行濺射涂層時，光潔度很差。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種氣動懸浮式微球涂層裝置，其 通過微量高速氣流，實現微球的懸浮和自由隨機旋轉，保證微球表 面均勻的涂層，避免微球之間的相互碰撞，并且可以去除從靶槍上 掉落的渣、屑等對微球的污染，提高微球表面的光潔度。

本實用新型是采用以下技術方案實現的：

一種氣動懸浮式微球涂層裝置，其特征在于，包括真空室、氣 流板、多個靶槍和進氣管，氣流板設置于真空室內，多個靶槍具有 靶口，靶口位于氣流板上方的真空室內并朝向氣流板設置，氣流板 具有上表面和下表面以及連接于上表面和下表面之間的第一側面， 氣流板設有貫通上表面的多個氣流孔以及貫通第一側面的多根導氣 通道，多個氣流孔分別與多根導氣通道相連通，多根導氣通道連通 進氣管。

本實用新型實施例提供的氣動懸浮式微球涂層裝置的有益效果 是：

(1)通過進氣管進氣，并從氣流孔向上吹出，微球在靶口與氣 流孔之間懸浮和自由隨機轉動，從上方靶槍中噴出的涂料能均勻的 涂覆在微球表面，保證微球涂層的均勻性。

(2)氣流孔吹出的向上氣流會把從靶槍上掉落的渣或屑向上吹 出，防止其沾染在微球上，影響微球表面的光潔度。

(3)當氣流向上流動并擴散時，從氣流孔中溢出的氣流在向上 溢出時，受到微球阻擋，氣流會沿微球的球面向外逸出，相當于在 微球與氣流孔的孔壁間形成一道氣墊，阻止微球與氣流孔將發生碰 撞，約束了微球的運動空間。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例的技術方案，下面將對實 施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應當理解，以下附圖僅示 出了本實用新型的某些實施例，因此不應被看作是對范圍的限定， 對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還 可以根據這些附圖獲得其他相關的附圖。

圖1是本實用新型實施例1和2提供的氣動懸浮式微球涂層裝 置的結構示意圖；

圖2是本實用新型實施例1和2提供的氣動懸浮式微球涂層裝 置中氣流板的結構示意圖；

圖3是本實用新型實施例2和3提供的氣動懸浮式微球涂層裝 置中氣流板的俯視圖；

圖4是本實用新型實施例3提供的氣動懸浮式微球涂層裝置的 結構示意圖；

圖5是本實用新型實施例3提供的氣動懸浮式微球涂層裝置中 氣流孔的結構示意圖。

圖中標記分別為：

氣動懸浮式微球涂層裝置100；真空室101；真空泵102；進氣 管110；第一管段111；第二管段112；導氣孔115；靶槍120；靶 口121；氣流板130；上表面130a；下表面130b；第一側面130c； 第二側面130d；氣流孔131；喇叭口132。

具體實施方式

為使本實用新型實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下 面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技 術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新 型一部分實施例，而不是全部的實施例。因此，以下對在附圖中提 供的本實用新型的實施例的詳細描述并非旨在限制要求保護的本實 用新型的范圍，而是僅僅表示本實用新型的選定實施例。基于本實 用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前 提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

實施例1