[實用新型]氣動懸浮式微球涂層裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201620128052.1
• 申請日: 2016-02-18
• 公開（公告）號: CN205329151U
• 公開（公告）日: 2016-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 羅炳池;吳衛(wèi)東;李文琦;李愷;羅江山;張建波;張吉強;何玉丹;戴亞平
• 申請（專利權(quán)）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/50
• 代理公司: 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 吳開磊

1.一種氣動懸浮式微球涂層裝置，其特征在于，包括真空室、 氣流板、多個靶槍和進氣管，所述氣流板設(shè)置于所述真空室內(nèi)，所 述多個靶槍具有靶口，所述靶口位于所述氣流板上方的所述真空室 內(nèi)并朝向所述氣流板設(shè)置，所述氣流板具有上表面和下表面以及連 接于所述上表面和所述下表面之間的第一側(cè)面，所述氣流板設(shè)有貫 通所述上表面的多個氣流孔以及貫通所述第一側(cè)面的多根導(dǎo)氣通 道，所述多個氣流孔分別與所述多根導(dǎo)氣通道相連通，多根所述導(dǎo) 氣通道連通所述進氣管。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動懸浮式微球涂層裝置，其特征在 于，每個所述氣流孔的軸線垂直于所述上表面且每個所述氣流孔呈 上大下小的喇叭狀。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣動懸浮式微球涂層裝置，其特征在 于，所述進氣管包括相互連通的第一管段和第二管段，所述第二管 段位于所述氣流板的所述導(dǎo)氣通道中，所述第一管段安裝有質(zhì)量流 量計。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣動懸浮式微球涂層裝置，其特征在 于，所述進氣管的所述第一管段的內(nèi)徑大于和所述第二管段的內(nèi)徑。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動懸浮式微球涂層裝置，其特征在 于，所述多個氣流孔呈陣列排布且每個所述氣流孔的軸線垂直于所 述上表面。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氣動懸浮式微球涂層裝置，其特征在 于，所述氣流板具有與所述第一側(cè)面相對的第二側(cè)面，所述進氣管 沿垂直于所述第二側(cè)面的方向設(shè)置并連通所述導(dǎo)氣通道。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動懸浮式微球涂層裝置，其特征在 于，所述靶槍為兩個，兩個所述靶槍沿垂直于所述上表面的面對稱 設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的氣動懸浮式微球涂層裝置，其特征在 于，兩個所述靶槍的所述靶口朝向相互靠近的方向傾斜設(shè)置。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動懸浮式微球涂層裝置，其特征在 于，所述進氣管由聚四氟乙烯管制成。

10.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的氣動懸浮式微球涂層裝置，其特 征在于，所述第一管段的內(nèi)徑為3mm～4mm，所述第二管段的內(nèi)徑 為0.5mm～0.8mm。