[實用新型]工件尺寸檢測裝置及多工位組合式晶棒加工設備

有效

• 申請號: 201620107899.1
• 申請日: 2016-02-02
• 公開（公告）號: CN205380533U
• 公開（公告）日: 2016-07-13
• 發明（設計）人: 盧建偉
• 申請（專利權）人: 上海日進機床有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B41/00;B24B27/00;B24B49/00;G01B21/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及晶棒加工技術領域，特別是涉及工件尺寸檢測裝置及多工位組合式晶棒加工設備。

背景技術

現有的晶棒工件在進行加工過程(即例如切割、表面研磨、拋光等)之前和/或之后，均需要測量晶棒工件的尺寸是否符合要求，然目前的測量方式均需通過專門的儀器執行，成本高且較為不便。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供工件尺寸檢測裝置及多工位組合式晶棒加工設備，通過簡單易行的結構及計算，解決現有技術的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種工件尺寸檢測裝置，包括：驅動裝置；沿一水平方向設置的轉軸，連接所述驅動裝置并受其驅動而能進行正轉或反轉運動；一對測量臂，固定連接所述轉軸，且分別從所述轉軸側面向相對兩側對稱延伸且向平行于所述轉軸的方向彎折而形成一對第一段，所述一對第一段之間形成有供設置工件的容納空間；所述一對測量臂的第一段至少能隨所述轉軸的正轉或反轉而運動至抵壓于所述工件而令所述轉軸的轉矩變化；其中，所述驅動裝置中至少設有伺服電機、轉矩傳感器、運動量檢測器及控制器；所述伺服電機，連接并驅動所述轉軸；所述轉矩傳感器，用于采集所述轉軸的轉矩值；所述運動量檢測器，用于采集所述轉軸從初始位置轉動至目標位置的運動量值；所述控制器，連接所述轉矩傳感器和運動量檢測器，用于接收所述轉矩傳感器采集的轉矩值并將所述轉矩值和預設轉矩閾值比較；在比較結果為所采集轉矩值大于所述預設轉矩閾值時，所述所述運動量檢測器采集所述轉軸從初始位置到達當前位置的運動量值；并且，所述控制器用于將所述運動量值與預設運動量下限閾值和預設運動量上限閾值比較以分別輸出對應信息，包括：若所述運動量值在預設運動量下限閾值和預設運動量上限閾值之間，則輸出表示工件尺寸正常的信息；若所述運動量值小于所述預設運動量下限閾值，則輸出表示所述工件尺寸過大的第一錯誤信息；若所述運動量值大于所述預設運動量上限閾值，則輸出表示所述工件尺寸過小的第二錯誤信息。

于本實用新型的一實施例中，每個測量臂包括：連接所述轉軸側面且沿垂直于所述轉軸的延伸形成的第二段；所述第一段連接于所述第二段。

于本實用新型的一實施例中，所述兩個測量臂的一對第二段位于同一直線上。

于本實用新型的一實施例中，所述一對第二段為一體，穿設且固定于所述轉軸。

于本實用新型的一實施例中，所述驅動裝置還包括：座體，設有供露出所述轉軸的開孔。

于本實用新型的一實施例中，所述運動量檢測器為角度傳感器，所述運動量值為轉動角度值；或者，所述運動量檢測器為位移傳感器，所述運動量值為位移值。

于本實用新型的一實施例中，所述的工件尺寸檢測裝置，包括：警報器，連接所述控制器，在接收到所述第一錯誤信息或第二錯誤信息時進行警報提醒。

于本實用新型的一實施例中，所述工件為軸對稱形狀，設于所述容納空間中的工件的對稱軸在豎直方向上且與所述轉軸所沿的水平方向相交。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種晶棒加工設備，包括：晶棒切割單元，用于將晶棒工件切割為第一預設形狀，所述第一預設形狀包括：截面為具有倒角的多邊形的棒體；晶棒輸送單元，呈圓盤形或圓環形且能旋轉運動以輸送晶棒工件；設置于所述晶棒輸送單元的輸送行程上的至少第一工位及第二工位，所述第一工位設置有表面研磨單元，所述第二工位設置有滾圓/倒角研磨單元；晶棒移送單元，用于將通過所述晶棒切割單元切割后的所述晶棒工件移送至所述晶棒輸送單元以及將隨所述晶棒輸送單元運動而經所述第一工位及所述第二工位進行加工后的所述晶棒工件移出所述晶棒輸送單元；所述晶棒輸送單元的輸送行程上還設置有空位；所述空位，用于作為所述輸送行程的起點而接納晶棒移送單元所移送來的進行切割后的晶棒工件，以供所述晶棒輸送單元將其向下一工位輸送；所述空位，還用于作為所述輸送行程的終點而接納經歷所述各工位的加工后的晶棒工件，以供所述晶棒移送單元將其移出所述晶棒輸送單元；其中，所述空位設有所述的工件尺寸檢測裝置。