[實用新型]一種節水型芯片清洗裝置

有效

• 申請號: 201620095836.9
• 申請日: 2016-01-31
• 公開（公告）號: CN205324264U
• 公開（公告）日: 2016-06-22
• 發明（設計）人: 于如遠;于強
• 申請（專利權）人: 濟南金銳電子有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/02;B08B3/04;B08B15/02
• 代理公司: 濟南鼎信專利商標代理事務所(普通合伙) 37245
• 代理人: 曹玉琳

技術領域

本實用新型主要涉及芯片清洗技術領域，具體是一種節水型芯片清洗裝置。

背景技術

在半導體芯片制作過程中，芯片清洗的好壞直接決定芯片的質量。芯片清 洗所用的水必須為高級純水，高級純水的造價很高，為保證清洗質量，沖泡用 高純水的消耗量很大，導致水源浪費和后續廢水的處理成本較高。目前GPP芯 片生產過程中清洗環節沖水所采用的是浸泡沖水置換裝置，就是芯片泡完化學 試劑后放入沖水槽中沖水，置換掉殘留化學試劑和雜質離子等。這樣的清洗裝 置消耗的高級純水量很大且沖水時間較長，浪費水資源，成本較高，工作效率 也較低。

實用新型內容

為了解決現有技術中的不足，本實用新型提供一種節水型芯片清洗裝置， 將芯片放入沖水槽內清洗之前，先經過噴霧槽使用高純水進行噴水清洗，可以 節約水資源，降低成本，還可以提高工作效率。

本實用新型為實現上述目的，通過以下技術方案實現：

一種節水型芯片清洗裝置，包括作業柜和進水管，所述作業柜上設置將作 業柜密封的排氣罩，所述排氣罩的頂部設有上抽風口，所述作業柜內設置酸槽 和水槽，所述酸槽的底部設置排酸管，所述水槽內設置噴霧槽和沖水槽，所述 噴霧槽內設有噴霧頭，所述噴霧頭上設有第一進水支管，所述噴霧頭通過第一 進水支管與進水管連通，所述噴霧槽的底部設有第一排水管，所述沖水槽內設 有第二進水支管，所述沖水槽通過第二進水支管與進水管連通，所述沖水槽的 底部設置第二排水管。

所述沖水槽內設有數個第一擋板，所述第一擋板由沖水槽的底部向沖水槽 的頂部延伸，且第一擋板的有效高度小于沖水槽的側壁高度，所述第一擋板將 沖水槽隔開為相互連通的數個沖水槽。

所述沖水槽內還設有與第一擋板相配合的第二擋板，所述第二擋板位于第 一擋板遠離第二進水支管的一側，所述第二擋板由沖水槽的頂部向沖水槽的底 部延伸，且第二擋板的底端位置低于第一擋板的頂端位置，所述第一擋板與第 二擋板之間形成水流通道，所述第一擋板和第二擋板將沖水槽隔開為相互連通 的數個沖水槽。

所述沖水槽內設置數個第三擋板，所述第三擋板將沖水槽隔開為互不連通 的數個單獨的沖水槽，每個單獨的沖水槽內均設有第二進水支管和第二排水管。

所述酸槽、噴霧槽和沖水槽內均設置芯片放置盤，所述芯片放置盤上設有 排水孔。

所述水槽的底部設有總排水管，所述總排水管上設有總排水閥門。

所述排酸管、第一進水支管、第二進水支管、第一排水管、第二排水管上 均設有閥門。

所述排氣罩的一側還設有側抽風口。

所述作業柜的底部設置支腿。

所述支腿的底部設置萬向輪，所述萬向輪上設置制動閘。

對比現有技術，本實用新型有益效果在于：

1、本實用新型將芯片放入沖水槽內清洗之前，先經過噴霧槽的噴水清洗， 可以節約水資源，降低成本，這樣分步進行，經過噴霧清洗的芯片潔凈度比較 高，在沖水槽內進行浸泡沖水清洗時所使用的高純水就會較少，清洗的時間也 會較短，可以提高工作效率。

2、通過第一擋板將沖水槽隔開為相互連通的數個沖水槽，可以只設有一個 第二進水支管，即可將隔開的數個沖水槽都充滿高純水，節約成本。

3、通過第一擋板和第二擋板將沖水槽隔開為相互連通的數個沖水槽，在滿 足只設有一個第二進水支管將隔開的數個沖水槽都充滿水的情況下，可以阻擋 沖水槽內的高純水相互流通，提高沖水槽內的潔凈度。

4、由第三擋板將沖水槽隔開為互不連通的數個單獨的沖水槽，可以滿足分 槽清洗且不會使沖水槽內的清洗液相互污染。

5、芯片放置盤的設置便于芯片的放置清洗，且芯片放置盤上設有的排水 孔，方便清洗液的流走，使得芯片放置盤上不會積累清洗液，提高潔凈度。

6、水槽的底部設有總排水管，便于水槽內積水的排出，且總排水管上設有 的總排水閥門，方便通過控制總排水管隨時控制水槽內積水的排出或者積累。