[實用新型]一種節水型芯片清洗裝置

有效

• 申請號: 201620095836.9
• 申請日: 2016-01-31
• 公開（公告）號: CN205324264U
• 公開（公告）日: 2016-06-22
• 發明（設計）人: 于如遠;于強
• 申請（專利權）人: 濟南金銳電子有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/02;B08B3/04;B08B15/02
• 代理公司: 濟南鼎信專利商標代理事務所(普通合伙) 37245
• 代理人: 曹玉琳

1.一種節水型芯片清洗裝置，包括作業柜(1)和進水管(2)，其特征是： 所述作業柜(1)上設置將作業柜(1)密封的排氣罩(3)，所述排氣罩(3)的 頂部設有上抽風口(4)，所述作業柜(1)內設置酸槽(5)和水槽(6)，所述 酸槽(5)的底部設置排酸管(7)，所述水槽(6)內設置噴霧槽(8)和沖水槽 (9)，所述噴霧槽(8)內設有噴霧頭(10)，所述噴霧頭(10)上設有第一進 水支管(11)，所述噴霧頭(10)通過第一進水支管(11)與進水管(2)連通， 所述噴霧槽(8)的底部設有第一排水管(12)，所述沖水槽(9)內設有第二進 水支管(13)，所述沖水槽(9)通過第二進水支管(13)與進水管(2)連通， 所述沖水槽(9)的底部設置第二排水管(14)。

2.根據權利要求1所述的一種節水型芯片清洗裝置，其特征是：所述沖水 槽(9)內設有數個第一擋板(15)，所述第一擋板(15)由沖水槽(9)的底部 向沖水槽(9)的頂部延伸，且第一擋板(15)的有效高度小于沖水槽(9)的 側壁高度，所述第一擋板(15)將沖水槽(9)隔開為相互連通的數個沖水槽(9)。

3.根據權利要求2所述的一種節水型芯片清洗裝置，其特征是：所述沖水 槽(9)內還設有與第一擋板(15)相配合的第二擋板(16)，所述第二擋板(16) 位于第一擋板(15)遠離第二進水支管(13)的一側，所述第二擋板(16)由 沖水槽(9)的頂部向沖水槽(9)的底部延伸，且第二擋板(16)的底端位置 低于第一擋板(15)的頂端位置，所述第一擋板(15)與第二擋板(16)之間 形成水流通道，所述第一擋板(15)和第二擋板(16)將沖水槽(9)隔開為相 互連通的數個沖水槽(9)。

4.根據權利要求1所述的一種節水型芯片清洗裝置，其特征是：所述沖水 槽(9)內設置數個第三擋板(17)，所述第三擋板(17)將沖水槽(9)隔開為 互不連通的數個單獨的沖水槽(9)，每個單獨的沖水槽(9)內均設有第二進水 支管(13)和第二排水管(14)。

5.根據權利要求1所述的一種節水型芯片清洗裝置，其特征是：所述酸槽 (5)、噴霧槽(8)和沖水槽(9)內均設置芯片放置盤(18)，所述芯片放置盤 (18)上設有排水孔(19)。

6.根據權利要求1所述的一種節水型芯片清洗裝置，其特征是：所述水槽 (6)的底部設有總排水管(20)，所述總排水管(20)上設有總排水閥門(21)。

7.根據權利要求1所述的一種節水型芯片清洗裝置，其特征是：所述排酸 管(7)、第一進水支管(11)、第二進水支管(13)、第一排水管(12)、第二排 水管(14)上均設有閥門(22)。

8.根據權利要求1所述的一種節水型芯片清洗裝置，其特征是：所述排氣 罩(3)的一側還設有側抽風口(23)。

9.根據權利要求1所述的一種節水型芯片清洗裝置，其特征是：所述作業 柜(1)的底部設置支腿(24)。

10.根據權利要求9所述的一種節水型芯片清洗裝置，其特征是：所述支 腿(24)的底部設置萬向輪(25)，所述萬向輪(25)上設置制動閘(26)。