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[實用新型]用于將元件載體暴露在光下的設備有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201620085600.7 申請日: 2016-01-28
公開(公告)號: CN205787588U 公開(公告)日: 2016-12-07
發(fā)明(設計)人: 安妮·泰;喬爾達諾-瑪利亞·迪格雷戈里奧;李濤 申請(專利權)人: 奧特斯(中國)有限公司
主分類號: G03F7/20 分類號: G03F7/20;H05K3/06
代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權代理有限公司11002 代理人: 瞿衛(wèi)軍;張晶
地址: 201108 上海市*** 國省代碼: 上海;31
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摘要:
搜索關鍵詞: 用于 元件 載體 暴露 設備
【說明書】:
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