[實用新型]用于將元件載體暴露在光下的設備有效
| 申請號： | 201620085600.7 | 申請日： | 2016-01-28 |
| 公開（公告）號： | CN205787588U | 公開（公告）日： | 2016-12-07 |
| 發明（設計）人： | 安妮·泰;喬爾達諾-瑪利亞·迪格雷戈里奧;李濤 | 申請（專利權）人： | 奧特斯(中國)有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司11002 | 代理人： | 瞿衛軍;張晶 |
| 地址： | 201108 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 元件 載體 暴露 設備 | ||
【權利要求書】：
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