[實(shí)用新型]一種防止鍵合機(jī)臺(tái)滑片的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201620085573.3
• 申請(qǐng)日: 2016-01-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN205319131U
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮晨
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212
• 代理人: 陳衛(wèi)

1.一種防止鍵合機(jī)臺(tái)滑片的裝置，包括鍵合機(jī)臺(tái)上進(jìn)行鍵合的兩片硅 片(1)和鍵合臺(tái)面(2)，所述硅片(1)和鍵合臺(tái)面(2)上下水平疊置， 其特征在于，還包括至少三個(gè)設(shè)置在鍵合臺(tái)面(2)周?chē)奶菪窝b置(3)， 所述梯形裝置(3)呈梯形塊狀，包括短側(cè)面(4)、長(zhǎng)側(cè)面(5)和斜面(6)， 所述短側(cè)面(4)和鍵合臺(tái)面(2)貼合，且短側(cè)面(4)高度和鍵合臺(tái)面(2) 厚度相同，所述長(zhǎng)側(cè)面(5)相對(duì)短側(cè)面(4)設(shè)置且其高度大于所述短側(cè)面 (4)的高度，所述斜面(6)從所述長(zhǎng)側(cè)面(5)的頂端向著硅片(1)延伸 到所述短側(cè)面(4)的頂端。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防止鍵合機(jī)臺(tái)滑片的裝置，其特征在于，所 述梯形裝置(3)均勻的分布在鍵合臺(tái)面(2)周?chē)?

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防止鍵合機(jī)臺(tái)滑片的裝置，其特征在于，所 述長(zhǎng)側(cè)面(5)的高度大于所述硅片(1)的厚度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的防止鍵合機(jī)臺(tái)滑片的裝置，其特征 在于，所述斜面(6)相對(duì)于水平的傾角α范圍為45°-80°。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的防止鍵合機(jī)臺(tái)滑片的裝置，其特征在于，所 述斜面(6)相對(duì)于水平的傾角α的值為75°。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的防止鍵合機(jī)臺(tái)滑片的裝置，其特征 在于，所述長(zhǎng)側(cè)面(5)高度超過(guò)鍵合臺(tái)面(2)厚度的值L范圍為2mm-4mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的防止鍵合機(jī)臺(tái)滑片的裝置，其特征在于，所 述長(zhǎng)側(cè)面(5)高度超過(guò)鍵合臺(tái)面(2)厚度的值L的值為3mm。