[實用新型]一種晶棒的偏心校準裝置

有效

• 申請號: 201620065083.7
• 申請日: 2016-01-22
• 公開（公告）號: CN205310553U
• 公開（公告）日: 2016-06-15
• 發明（設計）人: 孫明祥
• 申請（專利權）人: 浙江好亞能源股份有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D7/00
• 代理公司: 嘉興海創專利代理事務所(普通合伙) 33251
• 代理人: 鄭文濤

技術領域

本實用新型屬于硅片生產設備領域，具體涉及一種晶棒的偏心校準裝置。

背景技術

在對晶棒進行開方之前，需要將晶棒切成段并將其粘接到晶托上，并通過校 準裝置檢測晶棒是否垂直與水平面且晶棒截面的圓心是否在晶托正中央，對不符 合粘接要求的晶棒，必須將其粘接的位置進行調整，以確保后續晶片切割的合格 率。為了方便對粘接后晶棒的位置進行調整，在晶棒粘接之前需要對晶棒和晶托 進行加熱，已減緩粘接膠水的固化速度，為了確保晶棒垂直與水平面且晶棒截面 的圓心在晶托正中央，必須在晶棒不同的部位進行多次檢測，現有的校準裝置大 都采用在底座上設置一個用于旋轉的圓盤和與圓盤配合使用的支架，并在支架上 設置能夠上下移動的百分表的結構，百分表和支架通過緊固螺母固定在一起，當 需要調整百分表上下位置時，必須先將緊固螺母松開，再對其的位置進行調整， 調整結束后再擰緊，由于對晶棒粘接位置的檢測和校準必須在粘接澆水固化之前 完成，上述的操作過程就顯得極為復雜了，并且在實際操作過程中經常會出現晶 棒的準工序未完成，粘接膠水就已經固化的現象，這樣就必須先將粘接膠水融化， 然后再次對晶棒進行粘接，這樣不僅增加了操作人員的勞動強度，而且降低了生 產效率。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是，克服現有技術的缺陷，提供一種能夠快 速調整百分表位置的晶棒的偏心校準裝置。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種晶棒的偏心校準裝置， 包括底座，所述底座上設有垂直于所述底座設置的支撐桿和受驅動裝置驅動旋轉 的托架，所述支撐桿上套接有可上下移動的滑塊，所述滑塊上設有用于將其鎖定 在所述支撐桿上合適高度位置的鎖定機構和用于晶棒偏心檢測的百分表，所述鎖 定機構包括設置在所述滑塊內的滑槽、可左右移動設置在所述滑槽內的限位塊和 為所述限位塊提供復位彈力的彈性體，所述支撐桿上沿其高度方向間隔設置有鎖 定齒槽，所述限位塊上設有適于與所述鎖定齒槽配合的鎖定凸齒，常態下，在所 述彈性體的作用下所述限位塊的鎖定凸齒與所述支撐桿上對應位置的鎖定齒槽 鎖定配合，所述滑塊上設有用于帶動所述限位塊向遠離所述支撐桿方向移動并壓 縮所述彈性體的解鎖按鈕，所述解鎖按鈕可上下移動設置在所述滑塊的安裝孔 內，所述解鎖按鈕上套裝有為其提供向上彈力的彈簧，所述解鎖按鈕的上端伸至 所述滑塊外部形成按壓部，其底端設有推動斜面，所述限位塊上設有適于與所述 推動斜面配合的受力斜面。

優選的，所述滑塊側面設有伸縮結構的連桿，所述連桿包括第一鋼管和套裝 在所述第一鋼管內的第二鋼管，所述第一鋼管的固定端與所述滑塊固定連接，所 述百分表安裝于所述第二鋼管的自由端，所述第一鋼管上設有用于鎖定所述第二 鋼管位置的鎖定螺釘。

優選的，所述托架上設有用于定位晶托的缺口。

優選的，所述彈性體為螺旋壓簧或彈片。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：對晶棒的粘接位置進行校準時， 通過將粘接有晶棒的晶托安裝在所述托架上，利用所述驅動裝置驅動所述托架旋 轉，并利用所述百分表對晶棒的粘接位置進行檢測、校準。調整所述滑塊高度的 時，只需按壓所述解鎖按鈕，利用所述解鎖按鈕上的所述推動斜面推動所述限位 塊上的所述受力斜面，使所述限位塊向遠離所述支撐桿的方向移動并壓縮所述彈 性體，解除所述鎖定齒槽與所述鎖定凸齒的配合，使所述鎖定機構解鎖，這時就 可以將所述滑塊進行上下移動，將所述滑塊移動到所需要高度時，只需停止按壓 所述解鎖按鈕，這時所述彈簧推動所述解鎖按鈕向上運動，這樣所述解鎖按鈕上 的所述推動斜面就停止推動所述限位塊上的所述受力斜面，這時，所述彈性體將 推動所述限位塊向靠近所述支撐桿的方向移動，最終，將再次實現所述鎖定齒槽 與所述鎖定凸齒的配合，從而使所述鎖定機構鎖定。通過上述過程，可以方便的 調節所述滑塊的高度位置，從而減少調節所述滑塊高度位置所需要的時間，確保 有充足的時間對晶棒的粘接位置進行校準并使之處于晶托的正中間，減少人工勞 動強度，提高生產效率。

附圖說明

圖1為本實用新型一種晶棒的偏心校準裝置的結構示意圖。

圖2為本實用新型一種晶棒的偏心校準裝置鎖定結構的結構剖視圖。