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[實用新型]一種晶棒的偏心校準裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201620065083.7 申請日: 2016-01-22
公開(公告)號: CN205310553U 公開(公告)日: 2016-06-15
發(fā)明(設計)人: 孫明祥 申請(專利權(quán))人: 浙江好亞能源股份有限公司
主分類號: B28D5/00 分類號: B28D5/00;B28D7/00
代理公司: 嘉興海創(chuàng)專利代理事務所(普通合伙) 33251 代理人: 鄭文濤
地址: 314419 浙江省嘉興市浙*** 國省代碼: 浙江;33
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 偏心 校準 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種晶棒的偏心校準裝置,包括底座(1),所述底座(1)上設有垂直于 所述底座(1)設置的支撐桿(2)和受驅(qū)動裝置驅(qū)動旋轉(zhuǎn)的托架(3),所述支撐 桿(2)上套接有可上下移動的滑塊(4),所述滑塊(4)上設有用于將其鎖定在 所述支撐桿(2)上合適高度位置的鎖定機構(gòu)和用于晶棒偏心檢測的百分表(5), 其特征在于:所述鎖定機構(gòu)包括設置在所述滑塊(4)內(nèi)的滑槽(6)、可左右移 動設置在所述滑槽(6)內(nèi)的限位塊(7)和為所述限位塊(7)提供復位彈力的 彈性體(8),所述支撐桿(2)上沿其高度方向間隔設置有鎖定齒槽(9),所述 限位塊(7)上設有適于與所述鎖定齒槽(9)配合的鎖定凸齒(10),常態(tài)下, 在所述彈性體(8)的作用下所述限位塊(7)的鎖定凸齒(10)與所述支撐桿(2) 上對應位置的鎖定齒槽(9)鎖定配合,所述滑塊(4)上設有用于帶動所述限位 塊(7)向遠離所述支撐桿(2)方向移動并壓縮所述彈性體(8)的解鎖按鈕(11), 所述解鎖按鈕(11)可上下移動設置在所述滑塊(4)的安裝孔內(nèi),所述解鎖按 鈕(11)上套裝有為其提供向上彈力的彈簧(12),所述解鎖按鈕(11)的上端 伸至所述滑塊(4)外部形成按壓部(13),其底端設有推動斜面(14),所述限 位塊(7)上設有適于與所述推動斜面(14)配合的受力斜面(15)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶棒的偏心校準裝置,其特征在于:所述滑 塊(4)側(cè)面設有伸縮結(jié)構(gòu)的連桿,所述連桿包括第一鋼管(16)和套裝在所述 第一鋼管(16)內(nèi)的第二鋼管(17),所述第一鋼管(16)的固定端與所述滑塊 (4)固定連接,所述百分表(5)安裝于所述第二鋼管(17)的自由端,所述第 一鋼(16)管上設有用于鎖定所述第二鋼管(17)位置的鎖定螺釘(18)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種晶棒的偏心校準裝置,其特征在于:所 述托架(3)上設有用于定位晶托的缺口(19)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶棒的偏心校準裝置,其特征在于:所述彈 性體(8)為螺旋壓簧或彈片。

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