[實用新型]一種用于多晶硅制絨的系統

有效

• 申請號: 201620059854.1
• 申請日: 2016-01-21
• 公開（公告）號: CN205376544U
• 公開（公告）日: 2016-07-06
• 發明（設計）人: 廖文豐
• 申請（專利權）人: 浙江泰豐太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/0236
• 分類號: H01L31/0236;H01L31/18
• 代理公司: 北京世譽鑫誠專利代理事務所(普通合伙) 11368
• 代理人: 仲伯煊

1.一種用于多晶硅制絨的系統，其特征在于，包括第一漂洗槽、烘箱、拋光機、第二漂洗槽、氮氣吹干槽、酸制絨槽、第三漂洗槽、堿洗槽、第四漂洗槽、酸洗槽、第五漂洗槽、壓縮空氣吹干槽和用于傳輸多晶硅片的滾輪，

所述第一漂洗槽、所述烘箱、所述拋光機、所述第二漂洗槽、所述氮氣吹干槽、所述酸制絨槽、所述第三漂洗槽、所述堿洗槽、所述第四漂洗槽、所述酸洗槽、所述第五漂洗槽和所述壓縮空氣吹干槽依次相連。

2.根據權利要求1所述的一種用于多晶硅制絨的系統，其特征在于，所述酸制絨槽中設有噴涂機，所述噴涂機外接一可編程邏輯控制器。

3.根據權利要求1或2所述的一種用于多晶硅制絨的系統，其特征在于，所述第一漂洗槽、所述第二漂洗槽、所述第三漂洗槽、所述第四漂洗槽、所述第五漂洗槽均為去離子水漂洗槽。