[實用新型]一種酸性氯化銅蝕刻廢液再生回收設備

有效

• 申請號: 201620036289.7
• 申請日: 2016-01-13
• 公開（公告）號: CN205347579U
• 公開（公告）日: 2016-06-29
• 發明（設計）人: 劉劍鋒;王志剛;李強;葉進福;梁浩鵬;劉劍波
• 申請（專利權）人: 惠州市臻鼎環?？萍加邢薰?/a>
• 主分類號: C23F1/46
• 分類號: C23F1/46;C25C1/12;C25C7/00
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 許志勇

1.一種酸性氯化銅蝕刻廢液再生回收設備，其特征在于，包括：

中轉循環裝置；

離心電解裝置，連接所述中轉循環裝置；以及

真空氯氣吸收裝置，連接所述離心電解裝置；

其中所述離心電解裝置包括外管體、筒形離子交換膜及陽極棒，所述筒形離子交換膜設置于所述外管體內，并分隔所述外管體為陰極區及陽極區，所述陽極棒設置于所述陽極區，所述外管體具有進液口、出液口及氯氣交換口，所述進液口及出液口連通所述陰極區，所述氯氣交換口連通所述陽極區，所述中轉循環裝置連接所述進液口及出液口，所述真空氯氣吸收裝置連接所述氯氣交換口,相連接的所述離心電解裝置、中轉循環裝置及真空氯氣吸收裝置的內部空間為密閉空間。

2.根據權利要求1所述的酸性氯化銅蝕刻廢液再生回收設備，其特征在于，所述離心電解裝置還包括底座及蓋體，所述底座設置于所述外管體的底部，并具有錐狀導流結構，所述錐狀導流結構的頂部抵接于所述筒形離子交換膜的底部；所述蓋體設置于所述外管體的頂端，并具有氣體收集結構，所述氣體收集結構的底部連接所述筒形離子交換膜的頂部，所述氣體收集結構的頂部連接所述氯氣交換口。

3.根據權利要求1所述的酸性氯化銅蝕刻廢液再生回收設備，其特征在于，所述中轉循環裝置包括廢液儲存腔及再生液儲存腔，所述廢液儲存腔連接所述進液口，所述再生液儲存腔連接所述出液口。

4.根據權利要求3所述的酸性氯化銅蝕刻廢液再生回收設備，其特征在于，所述廢液儲存腔與所述進液口間更設有泵浦。

5.根據權利要求1所述的酸性氯化銅蝕刻廢液再生回收設備，其特征在于，所述真空氯氣吸收裝置還包括真空泵及反應槽，所述真空泵連接所述氯氣交換口及所述反應腔。

6.根據權利要求1所述的酸性氯化銅蝕刻廢液再生回收設備，其特征在于，所述外管體及陽極棒的材料為鈦金屬。

7.根據權利要求1所述的酸性氯化銅蝕刻廢液再生回收設備，其特征在于，還包括流量分配件,所述流量分配件設置于所述外管體內,并位于所述陰極區的底部,且位于所述進液口的上方。