[實用新型]一種酸性氯化銅蝕刻廢液再生回收設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201620036289.7
• 申請日: 2016-01-13
• 公開（公告）號: CN205347579U
• 公開（公告）日: 2016-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉劍鋒;王志剛;李強(qiáng);葉進(jìn)福;梁浩鵬;劉劍波
• 申請（專利權(quán)）人: 惠州市臻鼎環(huán)保科技有限公司
• 主分類號: C23F1/46
• 分類號: C23F1/46;C25C1/12;C25C7/00
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11315
• 代理人: 許志勇

1.一種酸性氯化銅蝕刻廢液再生回收設(shè)備，其特征在于，包括：

中轉(zhuǎn)循環(huán)裝置；

離心電解裝置，連接所述中轉(zhuǎn)循環(huán)裝置；以及

真空氯氣吸收裝置，連接所述離心電解裝置；

其中所述離心電解裝置包括外管體、筒形離子交換膜及陽極棒，所述筒形離子交換膜設(shè)置于所述外管體內(nèi)，并分隔所述外管體為陰極區(qū)及陽極區(qū)，所述陽極棒設(shè)置于所述陽極區(qū)，所述外管體具有進(jìn)液口、出液口及氯氣交換口，所述進(jìn)液口及出液口連通所述陰極區(qū)，所述氯氣交換口連通所述陽極區(qū)，所述中轉(zhuǎn)循環(huán)裝置連接所述進(jìn)液口及出液口，所述真空氯氣吸收裝置連接所述氯氣交換口,相連接的所述離心電解裝置、中轉(zhuǎn)循環(huán)裝置及真空氯氣吸收裝置的內(nèi)部空間為密閉空間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸性氯化銅蝕刻廢液再生回收設(shè)備，其特征在于，所述離心電解裝置還包括底座及蓋體，所述底座設(shè)置于所述外管體的底部，并具有錐狀導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，所述錐狀導(dǎo)流結(jié)構(gòu)的頂部抵接于所述筒形離子交換膜的底部；所述蓋體設(shè)置于所述外管體的頂端，并具有氣體收集結(jié)構(gòu)，所述氣體收集結(jié)構(gòu)的底部連接所述筒形離子交換膜的頂部，所述氣體收集結(jié)構(gòu)的頂部連接所述氯氣交換口。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸性氯化銅蝕刻廢液再生回收設(shè)備，其特征在于，所述中轉(zhuǎn)循環(huán)裝置包括廢液儲存腔及再生液儲存腔，所述廢液儲存腔連接所述進(jìn)液口，所述再生液儲存腔連接所述出液口。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的酸性氯化銅蝕刻廢液再生回收設(shè)備，其特征在于，所述廢液儲存腔與所述進(jìn)液口間更設(shè)有泵浦。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸性氯化銅蝕刻廢液再生回收設(shè)備，其特征在于，所述真空氯氣吸收裝置還包括真空泵及反應(yīng)槽，所述真空泵連接所述氯氣交換口及所述反應(yīng)腔。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸性氯化銅蝕刻廢液再生回收設(shè)備，其特征在于，所述外管體及陽極棒的材料為鈦金屬。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸性氯化銅蝕刻廢液再生回收設(shè)備，其特征在于，還包括流量分配件,所述流量分配件設(shè)置于所述外管體內(nèi),并位于所述陰極區(qū)的底部,且位于所述進(jìn)液口的上方。