[實用新型]一種晶粒檢測機之跳晶感應(yīng)模塊有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620034841.9 | 申請日： | 2016-01-14 |
| 公開（公告）號： | CN205280897U | 公開（公告）日： | 2016-06-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 蔡俊杰 | 申請（專利權(quán)）人： | 京隆科技（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/28 | 分類號： | G01R31/28;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京華夏博通專利事務(wù)所(普通合伙) 11264 | 代理人： | 劉俊 |
| 地址： | 215000 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 晶粒 檢測 感應(yīng) 模塊 | ||
1.一種晶粒檢測機之跳晶感應(yīng)模塊，該晶粒檢測機包括上料模塊、掃描檢測模塊、置換模塊、跳晶感應(yīng)模塊、出料模塊以及控制器，其特征在于，該跳晶感應(yīng)模塊設(shè)置于所述置換模塊和出料模塊之間，該跳晶感應(yīng)模塊包括偵測跳晶機構(gòu)和歸零傳感器，所述偵測跳晶機構(gòu)包含兩塊基座以及位于兩基座之間用于容許托盤通過的傳送通道，所述基座的外側(cè)固設(shè)有一偵測傳感器，所述偵測傳感器與所述控制器連接，所述基座上開設(shè)有一用于容許偵測傳感器發(fā)射的光線通過的條形槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶粒檢測機之跳晶感應(yīng)模塊，其特征在于，所述偵測傳感器為對照式傳感器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶粒檢測機之跳晶感應(yīng)模塊，其特征在于，所述歸零傳感器設(shè)于所述傳送通道上方，所述歸零傳感器用于根據(jù)每個托盤的上表面定義相應(yīng)的一個基準(zhǔn)位置，其與所述控制器相連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的一種晶粒檢測機之跳晶感應(yīng)模塊，其特征在于，所述托盤由其上表面向下開設(shè)有復(fù)數(shù)個用于放置晶粒的凹槽，所述凹槽的深度高于晶粒的厚度。
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