[實用新型]一種研磨基板壓力供給裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201620024157.2
• 申請日: 2016-01-06
• 公開（公告）號: CN205363536U
• 公開（公告）日: 2016-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 顧楠軒;林斌;王亞平;褚威;趙業(yè)開;劉敏;劉書雨;胡忠棋;于兵
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B37/10
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 李相雨

1.一種研磨基板壓力供給裝置，其特征在于，包括：

第一通電磁鐵和第二通電磁鐵，所述第一通電磁鐵和第二通電磁鐵的同極側(cè)上下相對放置且存在空隙；

所述第二通電磁鐵與第一通電磁鐵通過導(dǎo)軌機構(gòu)連接，所述第二通電磁鐵沿著第一通電磁鐵和第二通電磁鐵的共同中心線方向在一定范圍內(nèi)進行滑動；

所述第一通電磁鐵和第二通電磁鐵之間產(chǎn)生的排斥力為面板提供研磨壓力。

2.如權(quán)利要求1所述的研磨基板壓力供給裝置，其特征在于，

所述第一通電磁鐵和第二通電磁鐵之間產(chǎn)生的排斥力F等于第一通電磁鐵產(chǎn)生磁力F1和第二通電磁鐵產(chǎn)生磁力F2之和，即：

F＝F1+F2,

其中，μ₁為第一通電磁鐵的磁導(dǎo)率，S₁為第一通電磁鐵鐵芯的截面積，I₁為第一通電磁鐵的線圈電流，W₁為第一通電磁鐵的線圈匝數(shù)，δ₁為第一通電磁鐵的氣隙長度；

μ₂為第一通電磁鐵的磁導(dǎo)率，S₂為第一通電磁鐵鐵芯的截面積，I₂為第一通電磁鐵的線圈電流，W₂為第一通電磁鐵的線圈匝數(shù)，δ₂為第一通電磁鐵的氣隙長度。

3.如權(quán)利要求1所述的研磨基板壓力供給裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軌機構(gòu)包括第一L形固定支架和第二L形固定支架，所述第一L形固定支架位于橫向的第一邊與第一通電磁鐵固定連接，其位于縱向的第二邊與第二L形固定支架的位于縱向的長邊通過滑軌連接，所述長邊與第二通電磁鐵連接，所述第二通電磁鐵通過在長邊上的滑動，實現(xiàn)與第一通電磁鐵的相對運動。

4.如權(quán)利要求3所述的研磨基板壓力供給裝置，其特征在于，

所述第二L形固定支架的長邊長度大于第一L形固定支架的第二邊長度。

5.如權(quán)利要求3所述的研磨基板壓力供給裝置，其特征在于，

所述第二L形固定支架的位于橫向的窄邊垂直連接連接桿，導(dǎo)軌機構(gòu)還包括緩沖器，所述緩沖器固定在連接桿和第一固定支架中的第一邊之間，所述緩沖器包括限位桿和套在限位桿上的彈簧。

6.如權(quán)利要求5所述的研磨基板壓力供給裝置，其特征在于，

所述連接桿連接限位桿，所述彈簧固定在窄邊上，所述第二通電磁鐵在長邊上滑動帶動所述連接桿在限位桿范圍內(nèi)擠壓彈簧，進而產(chǎn)生緩沖力。

7.如權(quán)利要求1所述的研磨基板壓力供給裝置，其特征在于，所述第二通電磁鐵底端連接研磨鉆頭，所述研磨鉆頭底端設(shè)有緩沖海綿。