[實用新型]燒結提純爐控制系統

有效

• 申請號: 201620016568.7
• 申請日: 2016-01-07
• 公開（公告）號: CN205316977U
• 公開（公告）日: 2016-06-15
• 發明（設計）人: 李新華;李超
• 申請（專利權）人: 常州瞻馳光電科技有限公司
• 主分類號: F27B14/20
• 分類號: F27B14/20;F27D19/00
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 王凌霄

技術領域

本實用新型涉及一種真空爐的技術領域，尤其是涉及一種燒結提純爐 控制系統。

背景技術

目前，傳統的真空爐是由熔煉室、中真空計、低真空計、高真空閥、 前級真空泵、保護氣體源、加熱電源燈組成，其真空爐存在結構復雜，抽 氣效率低和能耗高的缺點。其次熔煉室的內部情況不能查明，導致熔煉不 夠充分；而且真空熔煉爐釋放的壓力不易監控，容易發生爆炸，嚴重影響 了生產。

發明內容

本實用新型的目的是克服現有技術存在的缺陷，提供一種結構簡 單、能隨時監控其壓力的一種燒結提純爐控制系統。

實現本實用新型目的的技術方案是：一種燒結提純爐控制系統，具有 真空室，所述真空室的一個輸出端通過高閥與擴散泵的輸入端連接，另一 個輸出端通過預抽閥和羅茨泵的輸入端連接；所述羅茨泵的輸出端端與機 械泵連接；所述擴散泵和羅茨泵之間連接有前級閥；所述真空室上設有第 一壓力傳感器，所述第一壓力傳感器通過信號與中央控制器連接。

上述技術方案所述羅茨泵內設有第二壓力傳感器，所述第二壓力傳感 器通過信號與中央控制器連接。

上述技術方案所述擴散泵內設有第三壓力傳感器，所述第三壓力傳感 器通過信號與中央控制器連接。

采用上述技術方案后，本實用新型具有以下積極的效果：

1、本實用新型的真空爐系統結構簡單、使用方便，自動化程度高。

2、本實用新型采用壓力傳感器可以有效的監控爐內的反應壓力，做到 及時有效的監控，保證了設備的安全。

附圖說明

為了使本實用新型的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例 并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中

圖1為本實用新型的結構示意圖；

附圖中標號為：1、真空室，2、擴散泵，3、羅茨泵，4、機械泵，5、 第一壓力傳感器，6、第二壓力傳感器，7、第三壓力傳感器，8、中央控制 器，9、高閥，10、前級閥，11、預抽閥。

具體實施方式

(實施例1)

見圖1所示，一種燒結提純爐控制系統，具有真空室1，所述真空室1 的一個輸出端通過高閥9與擴散泵2的輸入端連接，另一個輸出端通過預 抽閥11和羅茨泵3的輸入端連接；所述羅茨泵3的輸出端端與機械泵4連 接；所述擴散泵2和羅茨泵3之間連接有前級閥10；所述真空室1上設有 第一壓力傳感器5，所述第一壓力傳感器5通過信號與中央控制器8連接。

羅茨泵3內設有第二壓力傳感器6，所述第二壓力傳感器6通過信號與 中央控制器8連接。

擴散泵2內設有第三壓力傳感器7，所述第三壓力傳感器7通過信號與 中央控制器8連接。

以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術方案和有益效果 進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體 實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之 內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護 范圍之內。