[實用新型]燒結提純爐控制系統有效

申請號：	201620016568.7	申請日：	2016-01-07
公開（公告）號：	CN205316977U	公開（公告）日：	2016-06-15
發明（設計）人：	李新華;李超	申請（專利權）人：	常州瞻馳光電科技有限公司
主分類號：	F27B14/20	分類號：	F27B14/20;F27D19/00
代理公司：	常州市維益專利事務所 32211	代理人：	王凌霄
地址：	213000 江蘇***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	燒結提純控制系統
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【權利要求書】：

1.一種燒結提純爐控制系統，其特征在于：具有真空室(1)，所述真空室(1)的一個輸出端通過高閥(9)與擴散泵(2)的輸入端連接，另一個輸出端通過預抽閥(11)和羅茨泵(3)的輸入端連接；所述羅茨泵(3)的輸出端與機械泵(4)連接；所述擴散泵(2)和羅茨泵(3)之間連接有前級閥(10)；所述真空室(1)上設有第一壓力傳感器(5)，所述第一壓力傳感器(5)通過信號與中央控制器(8)連接。

2.根據權利要求1所述的一種燒結提純爐控制系統，其特征在于：所述羅茨泵(3)內設有第二壓力傳感器(6)，所述第二壓力傳感器(6)通過信號與中央控制器(8)連接。

3.根據權利要求1所述的一種燒結提純爐控制系統，其特征在于：所述擴散泵(2)內設有第三壓力傳感器(7)，所述第三壓力傳感器(7)通過信號與中央控制器(8)連接。

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