[發明專利]晶圓轉移裝置

在審

• 申請號: 201611264253.5
• 申請日: 2016-12-31
• 公開（公告）號: CN106783710A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 王振榮;黃春杰;黃利松
• 申請（專利權）人: 上海新陽半導體材料股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 上海脫穎律師事務所31259
• 代理人: 李強

技術領域

本發明涉及一種晶圓轉移裝置。

背景技術

晶圓生產過程中，涉及多種處理工藝。通常為了大規模生產的需要，多片晶圓放置在一個料盒中同時處理。料盒需要適應各個工序的處理裝置。但在實際生產過程中，即使是同一晶圓的料盒，在各處理工序使用的料盒尺寸不同。因此，這就決定了在整個處理工藝過程中，需要將晶圓從一個料盒轉移到另一個料盒中。現有技術中，依靠工人人工轉移晶圓，不僅勞動強度大，效率低，而且生產成本高，難以適應大規模生產的需要。

發明內容

本發明的目的是為了克服現有技術的不足，提供一種可代替人工的晶圓轉移裝置。

為實現以上目的，本發明通過以下技術方案實現：

晶圓轉移裝置，其特征在于，包括:

支撐臺，所述支撐臺設置有通孔，所述支撐臺可升降地設置；

托盤，所述托盤固定設置于所述支撐臺下方，所述支撐臺升降降過程中使所述托盤自所述通孔穿過；

第一機械臂和第二機械臂；所述第一機械臂與所述第二機械臂可相互靠近及遠離地設置，用于共同夾持晶圓；所述第一機械臂與所述第二機械臂設置于所述支撐臺上方；所述第一機械臂與所述第二機械臂可升降并可水平移動地設置。

根據本發明的一個實施例，還包括第一驅動裝置，所述第一驅動裝置驅動所述支撐臺升降或通過第一傳動裝置驅動所述支撐臺升降地設置。

根據本發明的一個實施例，所述第一驅動裝置為第一旋轉電機，所述第一傳動裝置為第一絲杠螺母；所述第一旋轉電機通過所述第一絲杠螺母驅動所述支撐臺升降地設置。

根據本發明的一個實施例，所述支撐臺設置于支架上，所述支架與所述絲杠螺母連接。

根據本發明的一個實施例，還包括第一導向裝置，所述支撐臺與所述導向裝置直接連接或間接連接，所述第一導向裝置為所述支撐臺升降時導向。

根據本發明的一個實施例，所述第一機械臂與所述第二機械臂可同步升降地設置。

根據本發明的一個實施例，還包括第二驅動裝置，所述第二驅動裝置驅動所述第一機械臂與所述第二機械臂升降或通過第二傳動裝置驅動所述第一機械臂與所述第二機械臂同步升降地設置。

根據本發明的一個實施例，所述第二驅動裝置為第二旋轉電機，所述第二傳動裝置為第二絲杠螺母；所述第二旋轉電機通過第二絲杠螺母驅動所述第一機械臂和所述第二機械臂升降地設置。

根據本發明的一個實施例，還包括第三導向裝置，所述第三導向裝置為所述第一機械臂和第二機械臂升降時導向。

根據本發明的一個實施例，還包括支撐板；所述第一機械臂和所述第二機械臂設置在所述支撐板上，所述第一機械臂和所述第二機械臂兩者之一或兩者均可移動地設置；所述支撐板與所述第二導向裝置連接。

根據本發明的一個實施例，所述第一機械臂與所述第二機械臂可同步水平移動地設置。

根據本發明的一個實施例，還包括第三驅動裝置，所述第三驅動裝置驅動所述第一機械臂與所述第二機械臂水平移動地設置或通過第三傳動裝置驅動所述第一機械臂與所述第二機械臂可同步水平移動地設置。

根據本發明的一個實施例，還包括第三導向裝置；所述第一機械臂及所述第二機械臂與所述第三導向裝置連接；所述第三導向裝置為所述第一機械臂及所述第二機械臂同步移動時導向。

根據本發明的一個實施例，還包括第四驅動裝置，所述第四驅動裝置數量為一個或多個，驅動第一機械臂和第二機械臂其中一個或兩個移動地設置，所述第四驅動裝置驅動所述第一機械臂與所述第二機械臂相互靠近及遠離。

根據本發明的一個實施例，所述第四驅動裝置為雙桿氣缸，所述雙桿氣缸設置有第一活塞桿和第二活塞桿，所述第一活塞桿與所述第一機械臂連接；所述第二活塞桿與所述第二機械臂連接。

根據本發明的一個實施例，還包括第四導向裝置，所述第四導向裝置數目為一個或多個，所述第四導向裝置為所述第一機械臂和所述第二機械臂中的一個或兩個移動時導向。

根據本發明的一個實施例，所述第一機械臂設置有第一容置槽；所述第二機械臂設置有第二容置槽；所述第一機械臂與所述第二機械臂相互靠近時，可使晶圓兩側邊緣分別插入所述第一容置槽和所述第二容置槽內，所述第一機械臂和所述第二機械臂共通夾持晶圓。