[發(fā)明專利]晶圓轉(zhuǎn)移裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611264253.5
• 申請(qǐng)日: 2016-12-31
• 公開（公告）號(hào): CN106783710A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王振榮;黃春杰;黃利松
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海新陽(yáng)半導(dǎo)體材料股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 上海脫穎律師事務(wù)所31259
• 代理人: 李強(qiáng)

1.晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，包括:

支撐臺(tái)，所述支撐臺(tái)設(shè)置有通孔，所述支撐臺(tái)可升降地設(shè)置；

托盤，所述托盤固定設(shè)置于所述支撐臺(tái)下方，所述支撐臺(tái)升降降過(guò)程中使所述托盤自所述通孔穿過(guò)；

第一機(jī)械臂和第二機(jī)械臂；所述第一機(jī)械臂與所述第二機(jī)械臂可相互靠近及遠(yuǎn)離地設(shè)置，用于共同夾持晶圓；所述第一機(jī)械臂與所述第二機(jī)械臂設(shè)置于所述支撐臺(tái)上方；所述第一機(jī)械臂與所述第二機(jī)械臂可升降并可水平移動(dòng)地設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，還包括第一驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述支撐臺(tái)升降或通過(guò)第一傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述支撐臺(tái)升降地設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置為第一旋轉(zhuǎn)電機(jī)，所述第一傳動(dòng)裝置為第一絲杠螺母；所述第一旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過(guò)所述第一絲杠螺母驅(qū)動(dòng)所述支撐臺(tái)升降地設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述支撐臺(tái)設(shè)置于支架上，所述支架與所述絲杠螺母連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，還包括第一導(dǎo)向裝置，所述支撐臺(tái)與所述導(dǎo)向裝置直接連接或間接連接，所述第一導(dǎo)向裝置為所述支撐臺(tái)升降時(shí)導(dǎo)向。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述第一機(jī)械臂與所述第二機(jī)械臂可同步升降地設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，還包括第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述第一機(jī)械臂與所述第二機(jī)械臂升降或通過(guò)第二傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述第一機(jī)械臂與所述第二機(jī)械臂同步升降地設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置為第二旋轉(zhuǎn)電機(jī)，所述第二傳動(dòng)裝置為第二絲杠螺母；所述第二旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過(guò)第二絲杠螺母驅(qū)動(dòng)所述第一機(jī)械臂和所述第二機(jī)械臂升降地設(shè)置。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，還包括第三導(dǎo)向裝置，所述第三導(dǎo)向裝置為所述第一機(jī)械臂和第二機(jī)械臂升降時(shí)導(dǎo)向。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，還包括支撐板；所述第一機(jī)械臂和所述第二機(jī)械臂設(shè)置在所述支撐板上，所述第一機(jī)械臂和所述第二機(jī)械臂兩者之一或兩者均可移動(dòng)地設(shè)置；所述支撐板與所述第二導(dǎo)向裝置連接。

11.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述第一機(jī)械臂與所述第二機(jī)械臂可同步水平移動(dòng)地設(shè)置。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，還包括第三驅(qū)動(dòng)裝置，所述第三驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述第一機(jī)械臂與所述第二機(jī)械臂水平移動(dòng)地設(shè)置或通過(guò)第三傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述第一機(jī)械臂與所述第二機(jī)械臂可同步水平移動(dòng)地設(shè)置。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，還包括第三導(dǎo)向裝置；所述第一機(jī)械臂及所述第二機(jī)械臂與所述第三導(dǎo)向裝置連接；所述第三導(dǎo)向裝置為所述第一機(jī)械臂及所述第二機(jī)械臂同步移動(dòng)時(shí)導(dǎo)向。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，還包括第四驅(qū)動(dòng)裝置，所述第四驅(qū)動(dòng)裝置數(shù)量為一個(gè)或多個(gè)，驅(qū)動(dòng)第一機(jī)械臂和第二機(jī)械臂其中一個(gè)或兩個(gè)移動(dòng)地設(shè)置，所述第四驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述第一機(jī)械臂與所述第二機(jī)械臂相互靠近及遠(yuǎn)離。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述第四驅(qū)動(dòng)裝置為雙桿氣缸，所述雙桿氣缸設(shè)置有第一活塞桿和第二活塞桿，所述第一活塞桿與所述第一機(jī)械臂連接；所述第二活塞桿與所述第二機(jī)械臂連接。

16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，還包括第四導(dǎo)向裝置，所述第四導(dǎo)向裝置數(shù)目為一個(gè)或多個(gè)，所述第四導(dǎo)向裝置為所述第一機(jī)械臂和所述第二機(jī)械臂中的一個(gè)或兩個(gè)移動(dòng)時(shí)導(dǎo)向。

17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述第一機(jī)械臂設(shè)置有第一容置槽；所述第二機(jī)械臂設(shè)置有第二容置槽；所述第一機(jī)械臂與所述第二機(jī)械臂相互靠近時(shí)，可使晶圓兩側(cè)邊緣分別插入所述第一容置槽和所述第二容置槽內(nèi)，所述第一機(jī)械臂和所述第二機(jī)械臂共通夾持晶圓。