[發(fā)明專利]一種輔助圖形的添加方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611259536.0
• 申請(qǐng)日: 2016-12-30
• 公開（公告）號(hào): CN106527040B
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡紅梅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海集成電路研發(fā)中心有限公司
• 主分類號(hào): G03F1/36
• 分類號(hào): G03F1/36
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;陳慧弘

1.一種輔助圖形的添加方法，其特征在于，包括：

步驟01：提供一OPC目標(biāo)圖形，根據(jù)輔助圖形基準(zhǔn)規(guī)則，選取其中只能加入一根輔助圖形部分的規(guī)則，建立輔助圖形額外規(guī)則；其中，OPC目標(biāo)圖形中已有輔助圖形；

步驟02：把目標(biāo)圖形整體進(jìn)行放大，使目標(biāo)圖形的所有邊向外擴(kuò)展A距離；A為非負(fù)數(shù)，A的單位為長(zhǎng)度單位；

步驟03：基于輔助圖形額外規(guī)則，將所述輔助圖形額外規(guī)則中相應(yīng)目標(biāo)圖形之間的距離值減去2A；并且，基于A距離，將輔助圖形額外規(guī)則中因目標(biāo)圖形整體放大而受到影響的其他參數(shù)進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整；

步驟04：運(yùn)行輔助圖形額外規(guī)則，生成第一輔助圖形；

步驟05：以第一輔助圖形作為新增的參考圖形，對(duì)目標(biāo)圖形執(zhí)行輔助圖形基準(zhǔn)規(guī)則，生成第二輔助圖形；將第一輔助圖形，第二輔助圖形和已有輔助圖形疊加構(gòu)成最終的輔助圖形。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輔助圖形的添加方法，其特征在于，所述步驟02中，A距離小于目標(biāo)圖形所允許的最小間距的1/2。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輔助圖形的添加方法，其特征在于，所述輔助圖形基準(zhǔn)規(guī)則和輔助圖形額外規(guī)則中的輔助圖形均為邊輔助圖形。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輔助圖形的添加方法，其特征在于，所述步驟01中，在建立輔助圖形額外規(guī)則之前，還包括：基于輔助圖形基準(zhǔn)規(guī)則，對(duì)目標(biāo)圖形建立初始基于規(guī)則的輔助圖形；步驟05中，還包括：以第一輔助圖形、初始基于規(guī)則的輔助圖形、原始輸入輔助圖形和原始輸入?yún)⒖紙D形作為參考圖形，對(duì)目標(biāo)圖形執(zhí)行輔助圖形基準(zhǔn)規(guī)則，生成第二輔助圖形；最終的輔助圖形是將第一輔助圖形、第二輔助圖形、初始基于規(guī)則的輔助圖形和原始輸入輔助圖形疊加構(gòu)成的。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的輔助圖形的添加方法，其特征在于，所述初始基于規(guī)則的輔助圖形包括：邊輔助圖形(side bar)和角輔助圖形(corner bar)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輔助圖形的添加方法，其特征在于，所述目標(biāo)圖形為通孔圖形。

7.權(quán)利要求1所述的輔助圖形的添加方法，其特征在于,所述輔助圖形均為亞分辨率圖形。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輔助圖形的添加方法，其特征在于，步驟04之后且在所述步驟05之前，還包括：將步驟01中的OPC目標(biāo)圖形替代放大后的OPC目標(biāo)圖形。