[發明專利]蔭罩、蔭罩的制造方法和顯示裝置的制造方法

有效

• 申請號: 201611256253.0
• 申請日: 2016-12-30
• 公開（公告）號: CN107119253B
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 大河原健
• 申請（專利權）人: 株式會社日本顯示器
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 邸萬杰

本發明提供一種所堆積的成膜材料不易剝落的蔭罩和使用該蔭罩制造的顯示裝置。在通過蒸鍍或者濺射使成膜材料堆積的成膜處理中用于圖案形成的蔭罩，其包括：設置在與成膜對象物相對的一側的第1樹脂膜；形成有縫隙的、設置在上述第1樹脂膜的上方的金屬部；和以覆蓋上述金屬部的上方的至少一部分的方式設置的第2樹脂膜，上述第2樹脂膜設置在暴露于上述成膜材料的一側，上述第2樹脂膜的表面被粗化。

技術領域

本發明涉及蔭罩、蔭罩的制造方法和使用蔭罩的顯示裝置的制造方法。

背景技術

近年來，使用有機EL(Electro-luminescent：電致發光)元件的有機EL顯示裝置正在實用化，在形成有機EL元件的有機層、陰極電極時，有時采用蒸鍍法，為了使上述的有機層、陰極電極形成為所期望的形狀，使用將多個精細的縫隙平行地配置而構成的蔭罩。隨著顯示裝置的高精細化、高畫質化的發展，該蔭罩的開發也正在發展。蔭罩也被稱為蒸鍍掩模、金屬掩模。

例如，專利文獻1公開了通過光刻法形成蒸鍍掩模，該蒸鍍掩模通過將設置有縫隙的金屬掩模、和設置有要蒸鍍制作在與該縫隙重疊的位置的圖案的樹脂掩模層疊而形成，由此，使蒸鍍掩模的加工精度高精細化。

在專利文獻2中公開了，在基板上形成有機EL層的有機EL用金屬掩模中，在該有機EL用金屬掩模的、蒸鍍時與基板相對的一面側的顯示部的外周設置樹脂的突起部，由此防止金屬掩模和基板的接觸，從而防止異物和傷導致的基板表面的損傷。

另外，專利文獻3公開了，使蒸鍍掩模緊貼在基板的表面，從蒸鍍源通過蒸鍍掩模的開口部將蒸鍍材料蒸鍍在基板的表面來形成圖案的蒸鍍方法中，通過對與蒸鍍掩模的基板表面相對的表面實施噴砂處理來進行粗化，由此防止蒸鍍材料的剝離。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2013-241667號公報

專利文獻2：日本特開2007-95411號公報

專利文獻3：日本特開2003-253434號公報

發明內容

發明想要解決的技術問題

如上述專利文獻1和2所公開，表面由樹脂形成的蒸鍍掩模與表面由金屬形成的蒸鍍掩模相比表面平滑，所以，有時堆積在蒸鍍掩模表面的膜發生剝落。在堆積在蒸鍍掩模表面的膜發生剝落的情況下，剝落了的膜污染蒸鍍源，由被污染了的蒸鍍源形成的膜混入了雜質。

另外，如上述專利文獻3所公開，在粗化處理的對象為表面由樹脂形成的蒸鍍掩模的情況下，有時通過噴砂處理進行粗化時，樹脂自身產生剝離。

本發明是鑒于上述課題而完成的，其目的在于提供一種在表面設置有樹脂的成膜處理中用于圖案形成的蔭罩，在粗化處理時樹脂不發生剝離，堆積在樹脂的成膜材料難以發生剝落的蔭罩和使用該蔭罩制造的顯示裝置。

用于解決技術問題的技術方案

本發明的一個方式是一種蔭罩，其為將成膜材料通過蒸鍍或者濺射而堆積來成膜的處理中用于圖案形成的蔭罩，其特征在于，包括：設置在與成膜對象物相對的一側的第1樹脂膜；形成有縫隙的、設置在上述第1樹脂膜的上方的金屬部；和以覆蓋上述金屬部的上方的至少一部分的方式設置的第2樹脂膜，上述第2樹脂膜設置在暴露于上述成膜材料的一側，上述第2樹脂膜的表面被粗化。